[发明专利]发光元件用光接收模块及发光元件用检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种接收来自芯片等的发光元件的光、进行光量测定、波长测定等的发光元件用光接收模块以及发光元件用检查装置。

背景技术

专利文献1中公开了可对上表面发光LED及下表面发光LED进行检查的技术。具体地说，专利文献1公开了不仅在探针上部，而且在平台下侧也设有光量检测器、波长测定用光纤的技术。

专利文献2中公开了在光电转换装置的光接收面中央垂直设有光纤输入部、用于同时测定发光光量和发射光谱的技术。

【专利文献1】日本专利文献特开2007-19237号公报

【专利文献2】日本专利文献特开平9-113411号公报

但是，专利文献1记载的方法只能在LED的发光角度范围为±10°的范围内进行光量测定，难于高精度地计算出LED发出的光量。

此外，专利文献2记载的方法虽然可以测定广角范围的发光角度，但需要特殊的光电转换装置。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而完成的，其中一个目的在于提供一种可以高精度地计算发光元件发出的光量的发光元件用光接收模块及发光元件用检查装置。

本发明的发光元件用光接收模块具有：与发光元件相对配置、用于接收所述发光元件发出的光并测定其光量的光接收部，以及将所述发光元件发出的光引导至用于测定波长的波长测定部的导光部。所述导光部被设置为在由与所述光接收部相对的所述发光元件的面所形成的平面和与所述发光元件相对的所述光接收部的面所形成的平面形成的空间内延伸，所述导光部的延伸方向与来自所述发光元件的光轴不一致。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式中的LED发光状态的说明图。

图2是cos型LED及环型LED的光量比率及强度差比率的说明图。

图3是第1实施方式的发光元件用光接收模块的说明图。

图4是光纤位置的说明图。

图5是发光元件用检查装置的概要说明图。

图6是探针的说明图。

图7是探针及定位单元的具体形态的说明图。

图8是光纤的倾斜面的角度的说明图。

图9是光纤本身为倾斜时的倾斜面的角度的说明图。

图10是光纤的倾斜面的倾斜方向的说明图。

图11是光纤的顶端设有作为导光部件的透明部件的变形例。

图12是在透明部件的外围部设有作为反射部件的反射膜的变形例。

图13是只设有反射部件的变形例。

图14是将光纤配置在LED的法线方向（θ＝0°）的导光方法的说明图。

图15是由倾斜面反射的光线的说明图。

具体实施方式

以下，使用图1详细说明本发明的第1实施方式。图1是在本发明的第1实施方式中的LED101的发光状态的说明图。

如图1(a)所记载的那样，LED101由发光面101a发出光。

在此，LED101是发光元件的一个例子，其他的发光元件也同样可以使用。

另外，θ是与发光面101a的法线方向所形成的角度。

LED101对每个角度θ发射出光线。

图1(b)及图1(c)是在角度θ的LED101的光量分布图。

图1(b)是当θ为0°时光量为最强的LED101(cos型)的例子，图1(c)是当θ为30°附近时光量为最强的LED101(环型)的例子。

然而，在制造多个LED101时会存在某种程度的制造误差。

假设，原本想在LED101的晶片中制造出具有如图1(b)所示特性的LED101，却制造出如图1(c)那样在θ不为0°的位置上出现波峰的LED101。

但是，发光元件用光接收模块1必须能够测定从具有如图1(b)所示特性(cos型特性)的LED101，到具有如图1(c)所示特性(环型特性)的LED101。

举一个实际的例子，从制造好的LED101晶片中抽样取出几个LED101，分别测定其光量分布。结果，每个LED101的光强度的波峰位置(角度)皆不相同，不过，波峰的位置几乎都在θ＝30°的范围内。

这表示所有被制造的LED101的光量强度的波峰位置(角度)，基本上都在θ＝0°到θ＝30°的范围内。

也就是说，可以假定：波峰位置在θ＝0°、±90°的(立体)光量分布的截面具有cos型特性的LED101，以及波峰位置在最偏移的θ＝30°有波峰的具有环型特性的LED101，是在同一个LED101的晶片中可能制造出的两种极端产品。