[发明专利]发光元件用光接收模块及发光元件用检查装置无效
| 申请号: | 201080044419.7 | 申请日: | 2010-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN102686990A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
| 发明(设计)人: | 藤森昭一;望月学;广田浩义;市川美穗 | 申请(专利权)人: | 日本先锋公司;日本先锋自动化公司 |
| 主分类号: | G01J1/00 | 分类号: | G01J1/00;G01J9/00;G01M11/00;H01L33/00 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
| 地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 发光 元件 用光 接收 模块 检查 装置 | ||
1.一种发光元件用光接收模块,其特征在于,包括:
光接收部,其与发光元件相对配置,用于接收该发光元件发出的光并测定其光量;
导光部,其将所述发光元件发出的光引导至用于测定波长的波长测定部,
所述导光部延伸设置于一空间中,该空间形成于与所述光接收部相对的所述发光元件的面所形成的平面和与所述发光元件相对的所述光接收部的面所形成的平面之间,
所述导光部的延伸方向与所述发光元件的光轴不一致。
2.根据权利要求1所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,所述导光部形成有与所述导光部的导光方向成规定角度的倾斜面,该倾斜面用于将所述发光元件的光导入所述导光部中。
3.根据权利要求2所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,所述倾斜面与所述光接收部的面相对配置,且所述光接收部的面与所述发光元件相对。
4.根据权利要求3所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,所述倾斜面的倾斜角度是使照射至所述倾斜面的光被折射引导至所述导光部内部的角度。
5.根据权利要求2所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,所述倾斜面与所述发光元件的面相对配置,且所述发光元件的面与所述光接收部相对。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,所述导光部由光纤所形成。
7.根据权利要求6所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,对所述倾斜面进行了APC研磨。
8.根据权利要求2至5中任一项所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,所述导光部由导光部件和光纤所形成,在所述导光部件的顶端形成所述倾斜面,所述导光部件与所述光纤的顶端紧密接触。
9.根据权利要求8所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,所述导光部件由透明电介质形成。
10.根据权利要求9所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,所述导光部件的沿其长边方向的侧面涂覆有反射膜。
11.根据权利要求8所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,所述导光部件由围绕长边方向的轴的反射部件形成为中空。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的发光元件用光接收模块,其特征在于,具有保持光接收部的保持部,所述保持部具有覆盖所述光接收部的光接收面周围的屏蔽部,所述屏蔽部设有与所述光接收部的中心同轴的圆形开口部。
13.一种发光元件用检查装置,其特征在于,包括:
权利要求1至12中任一项所述的发光元件用光接收模块;以及,
探针,用于接触所述发光元件的电极并测定其电气特性,
所述探针保持在所述发光元件用光接收模块的外侧。
14.根据权利要求13所述的发光元件用检查装置,其特征在于,所述探针的用于接触所述发光元件的顶端部分被折弯,其他部份与水平面成不足10°的角度。
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