[发明专利]湿度检测传感器

说明书

技术领域

本发明涉及将高分子感湿膜作为电介体的湿度检测传感器。

背景技术

在用于湿度变化测定的湿度检测传感器中，存在将介电常数根据吸收或排出的水分量发生变化的高分子感湿膜作为电介体的静电电容型的湿度检测传感器。电容型湿度检测传感器具备静电电容根据湿度变化的传感器部和无论湿度如何都保持固定的静电电容的基准部，并将传感器部与基准部之间的电容差量转换成电压而输出。传感器部及基准部具有以一对电极夹持高分子感湿膜并在其上层叠保护层而成的层叠结构。作为这种湿度检测传感器，例如在专利文献1中有所记载。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平6-138074号公报

在上述湿度检测传感器中，在采用以一对电极夹持高分子感湿膜的平行平板型的电极结构的情况下，为了使传感器部的高分子感湿膜向外界露出，必须将形成在高分子感湿膜上的电极局部去除。在这种情况下，可以想到的是，在高分子感湿膜上形成电极层后，利用研磨加工等干式蚀刻法去除该电极层。

然而，若通过研磨去除高分子感湿膜上的电极层，则此时高分子感湿膜也被研磨，从而导致高分子感湿膜带有因研磨产生的厚度分布。若高分子感湿膜具有如此的厚度分布，则在湿度检测传感器的灵敏度方面产生偏差。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供没有灵敏度偏差的平行平板型的湿度检测传感器。

用于解决课题的手段

本发明的湿度检测传感器的特征在于，具备：基板；传感器部，其设置在所述基板上，由一对电极夹持介电常数根据湿度而发生变化的高分子感湿膜，并且具有所述高分子感湿膜局部向外界露出的感湿区域；保护层，其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极上，在所述感湿区域以外的区域中，具有与由所述一对电极夹持的高分子感湿膜的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜的区域存在于所述上侧的电极的附近。

根据该结构，在感湿区域以外的区域中，由于设置有具有与由一对电极夹持的高分子感湿膜的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜的区域，所以能够确保高分子感湿膜中的、在上部电极与下部电极之间施加有电场时的泄漏电场的漏出(pass)。其结果是，能够减小湿度检测传感器的灵敏度的偏差。

在本发明的湿度检测传感器中，优选所述区域的宽度为至少包括所述一对电极间的磁场的泄漏区域的宽度。

在本发明的湿度检测传感器中，优选所述高分子感湿膜上的电极通过光刻及蚀刻被图案化而成。

在本发明的湿度检测传感器中，优选所述高分子感湿膜上的电极包括：通过光刻及蚀刻被图案化而成的种子层、形成在所述种子层上的镀敷层构成。

发明效果

根据本发明的湿度检测传感器，由于其具备：基板；传感器部，其设置在所述基板上，由一对电极夹持介电常数根据湿度而发生变化的高分子感湿膜，并且带有所述高分子感湿膜局部向外界露出的感湿区域；保护层，其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极上，在所述感湿区域以外的区域，具有与由所述一对电极夹持的高分子感湿膜的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜的区域存在于所述上侧的电极的附近，所以能够实现没有灵敏度偏差的平行平板型的湿度检测传感器。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的湿度检测传感器的结构的框图。

图2是表示本发明的实施方式的湿度检测传感器的传感器部及基准部的俯视图。

图3(a)、(b)是表示本发明的实施方式的湿度检测传感器的感湿区域以外的区域的结构的剖视图。

图4(a)～(e)是用于说明本发明的实施方式的湿度检测传感器的制造方法的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的实施方式。

图1是表示本发明的实施方式的湿度检测传感器的结构的框图。图1所示的湿度检测传感器是使用了介电常数根据吸收或排出的水分量发生变化的高分子感湿材料的高分子膜湿度传感器。该湿度检测传感器在基板10上具有：静电电容C₂₀根据湿度而发生变化的传感器部20、无论湿度如何都保持固定的静电电容C₃₀的基准部30、与该传感器部20和基准部30电连接且将该传感器部20与基准部30之间的电容差量ΔC(＝C₂₀-C₃₀)转换为电压而向外部电路输出的电路部40。