[发明专利]湿度检测传感器

权利要求书

1.一种湿度检测传感器，其特征在于，

具备：基板；传感器部，其设置在所述基板上，由一对电极夹持介电常数根据湿度而发生变化的高分子感湿膜，并且具有所述高分子感湿膜局部向外界露出的感湿区域；保护层，其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极上，在所述感湿区域以外的区域中，具有与由所述一对电极夹持的高分子感湿膜的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜的区域存在于所述上侧的电极附近。

2.根据权利要求1所述的湿度检测传感器，其特征在于，

所述区域的宽度为至少包括所述一对电极间的电场的泄漏区域的宽度。

3.根据权利要求1或2所述的湿度检测传感器，其特征在于，

所述高分子感湿膜上的电极通过光刻及蚀刻被图案化而成。

4.根据权利要求1或2所述的湿度检测传感器，其特征在于，

所述高分子感湿膜上的电极包括：通过光刻及蚀刻被图案化而成的种子层、在所述种子层上形成的镀敷层。