[发明专利]超薄板玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种超薄板玻璃基板的制造方法，具备：

保持玻璃基板的预成形坯而向制造生产线供给的供给工序；

将从该供给工序供给的该预成形坯加热至软化点附近的加热工序；及

使在该加热工序中软化了的预成形坯延伸而形成为超薄板玻璃基板的延伸工序，

所述超薄板玻璃基板的制造方法的特征在于，

所述预成形坯是卷绕在辊直径100mm～1500mm的圆筒状的第一卷绕辊上的、厚度Tp＝20μm～250μm、宽度Wp＝10mm～2000mm、长度＝1m～5000m的预成形坯，

通过所述延伸工序而制造的超薄板玻璃基板是厚度Tg＝2μm～50μm、宽度Wg＝0.3mm～500mm、长度＝5m～500000m的基板，

设由所述延伸工序引起的所述预成形坯的厚度方向的缩小率为Tg/Tp、宽度方向的缩小率为Wg/Wp时，成为Tg/Tp＝1/125～1/2，Wg/Wp＝1/125～1。

2.根据权利要求1所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

所述预成形坯在该预成形坯的单面或双面上重叠厚度10μm～1000μm的第一保护片而卷绕于所述第一卷绕辊，在将该预成形坯投入所述加热工序之前，还具备将该第一保护片从该预成形坯剥离的保护片剥离工序。

3.根据权利要求1或2所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

所述延伸工序是利用一个或一对延伸辊进行延伸的工序，

使所述加热工序后的所述超薄板玻璃基板与一个延伸辊接触而拉伸该超薄板玻璃基板，

或者，利用一对延伸辊把持所述加热工序后的所述超薄板玻璃基板而拉伸该超薄板玻璃基板。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

所述加热工序利用把持辊来把持所述软化了的预成形坯的宽度方向两端部。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在所述延伸工序后，还具备将所述超薄板玻璃基板卷绕于辊直径50mm～2000mm的圆筒状的第二卷绕辊的工序。

6.根据权利要求3～5中任一项所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在所述延伸工序中，在所述延伸辊与所述超薄板玻璃基板之间插入厚度10μm～1000μm的第二保护片。

7.根据权利要求5或6所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在所述延伸工序后，向所述超薄板玻璃基板的单面或双面供给厚度10μm～1000μm的第三保护片，使该超薄板玻璃基板与该第三保护片重合，利用所述第二卷绕辊来卷绕。