[发明专利]电子部件的制造方法及电子部件有效
申请号: | 201080031710.0 | 申请日: | 2010-07-09 |
公开(公告)号: | CN102473655A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 前岛研三;桂山悟;和布浦彻 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 金世煜;苗堃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 部件 制造 方法 | ||
1.一种电子部件的制造方法,其特征在于,是将具有连接用金属电极的第1电子部件和具有连接用焊接电极的第2电子部件接合的焊接接合方法,顺次进行如下工序:
在所述第1电子部件及所述第2电子部件的焊接接合面中的至少一方形成含有热固性树脂的树脂层的第1工序,
形成所述含有热固性树脂的树脂层后,将所述第1电子部件的连接用金属电极和所述第2电子部件的连接用焊接电极以对置方式对位,在比所述连接用焊接电极的焊料的熔点低的温度下进行加热及加压,由此使所述连接用金属电极和所述连接用焊接电极对接的第2工序,
将所述对接的第1电子部件和第2电子部件边通过加压流体进行加压,边在比所述连接用焊接电极的焊料的熔点高的温度下进行加热,使所述连接用焊接电极的焊料与所述连接用金属电极熔融接合的第3工序,
将所述含有热固性树脂的树脂层在比所述连接用焊接电极的焊料的熔点低的温度下进行加热,由此使其固化的第4工序。
2.一种电子部件的制造方法,其特征在于,是将具有连接用金属电极的第1电子部件和具有连接用焊接电极的第2电子部件接合的焊接接合方法,顺次进行如下工序:
在所述第1电子部件及所述第2电子部件的焊接接合面中的至少一方形成含有热固性树脂的树脂层的第1工序,
在形成所述含有热固性树脂的树脂层后,将所述第1电子部件的连接用金属电极和所述第2电子部件的连接用焊接电极以对置方式对位,在所述连接用焊接电极的焊料的热膨胀系数达到30×10-6/℃以下的温度下进行加热及加压,由此使所述连接用金属电极和所述连接用焊接电极对接的第2工序,
将所述对接的第1电子部件和第2电子部件边通过加压流体进行加压,边在所述连接用焊接电极的焊料的热膨胀系数变得大于30×10-6/℃的温度下进行加热,使所述连接用焊接电极的焊料与所述连接用金属电极熔融接合的第3工序,
将所述含有热固性树脂的树脂层在所述连接用焊接电极的焊料的热膨胀系数达到30×10-6/℃以下的温度下进行加热,由此使其固化的第4工序。
3.如权利要求1或2所述的电子部件的制造方法,其特征在于,
第2工序中的所述加热温度为190℃以下的温度,
第3工序中的所述加热温度为高于210℃的温度,
第4工序中的所述加热温度为210℃以下的温度。
4.如权利要求1~3中的任一项所述的电子部件的制造方法,其特征在于,所述第1电子部件具有的所述连接用金属电极是连接用焊接电极。
5.如权利要求1~4中的任一项所述的电子部件的制造方法,其特征在于,在第3工序之后、第4工序之前,冷却至比所述连接用焊接电极的焊料的熔点低的温度后,释放由所述加压流体进行的加压。
6.如权利要求5所述的电子部件的制造方法,其特征在于,比所述连接用焊接电极的焊料的熔点低的温度是200℃以下的温度。
7.如权利要求1~6中的任一项所述的电子部件的制造方法,其特征在于,所述第4工序边通过加压流体加压边进行。
8.如权利要求1~7中的任一项所述的电子部件的制造方法,其特征在于,所述热固性树脂含有环氧树脂。
9.如权利要求1~8中的任一项所述的电子部件的制造方法,其特征在于,所述含有热固性树脂的树脂层含有助焊剂活性化合物。
10.一种电子部件,其使用权利要求1~9中的任一项所述的电子部件的制造方法而制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造