[发明专利]功能梯度型无机抗蚀剂、带有功能梯度型无机抗蚀剂的基板、带有功能梯度型无机抗蚀剂的圆筒基材、功能梯度型无机抗蚀剂的形成方法和微细图案形成方法、以及无机抗蚀剂和其制造方法

权利要求书

1.一种功能梯度型无机抗蚀剂，其具有被照射激光的主表面和与所述主表面相向的背面，且通过热而变化状态，该功能梯度型无机抗蚀剂的特征在于：

所述功能梯度型无机抗蚀剂包含单层抗蚀剂；

使所述单层抗蚀剂的至少组成从所述主表面侧至所述背面侧连续地变化；

所述单层抗蚀剂中，局部被照射激光时达到一定温度的区域的各向异性从所述主表面侧向所述背面侧连续地提高。

2.一种功能梯度型无机抗蚀剂，其具有照射激光的主表面和与所述主表面相向的背面，且通过热而变化状态，该功能梯度型无机抗蚀剂的特征在于：

所述功能梯度型无机抗蚀剂包含单层抗蚀剂；

使所述单层抗蚀剂的抗蚀剂分辨特性值从所述主表面侧至所述背面侧连续地变化；

所述单层抗蚀剂中，局部被照射激光时达到一定温度的区域的各向异性从所述主表面侧向所述背面侧连续地提高；

其中的抗蚀剂分辨特性值是指对抗蚀剂的分辨率产生影响的抗蚀剂的物性值。

3.如权利要求2所述的功能梯度型无机抗蚀剂，其特征在于，所述抗蚀剂分辨特性值为选自光吸收系数、导热系数和抗蚀剂灵敏度中的一种或二种以上的值；

其中的抗蚀剂灵敏度是指利用将具有特定尺寸和照射量的激光照射到抗蚀剂时的能够显影的部分的尺寸所定义的特性。

4.如权利要求1至3的任一项所述的功能梯度型无机抗蚀剂，其特征在于：

所述单层抗蚀剂的材料由选自Ti、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ge、Se、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Sb、Te、Hf、Ta、W、Re、Ir、Pt、Au、Bi中的至少1种以上的元素与氧和/或氮的组合构成；

使所述所选择的元素与氧和/或氮的组成比从所述主表面侧至所述背面侧连续地变化。

5.如权利要求1至3的任一项所述的功能梯度型无机抗蚀剂，其特征在于：

所述单层抗蚀剂的材料由第一材料和第二材料构成，其中，在Ti、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ge、Se、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Sb、Te、Hf、Ta、W、Re、Ir、Pt、Au、Bi的低氧化物、氮化物或者低氧化氮化物中，所述第一材料含有含有其中的至少1种，所述第二材料含有所述第一材料以外的至少1种；

使所述第一材料和所述第二材料的组成从所述主表面侧至所述背面侧相对地且连续地变化。

6.一种功能梯度型无机抗蚀剂，其为具有被照射激光的主表面和与所述主表面相向的背面、且通过热而变化状态的单层的功能梯度型无机抗蚀剂，该功能梯度型无机抗蚀剂的特征在于：

所述单层抗蚀剂的材料由选自Ti、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ge、Se、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Sb、Te、Hf、Ta、W、Re、Ir、Pt、Au、Bi中的至少1种以上的元素与氧和/或氮的组合构成；

在氧和/或氮相对于所述所选择的元素的组成比与抗蚀剂灵敏度的关系中，在抗蚀剂灵敏度显示极大值时的氧和/或氮的组成比以上的范围，氧和/或氮相对于所述所选择的元素之比从所述主表面侧至所述背面侧连续地减小；

对所述单层抗蚀剂局部照射激光时达到一定温度的区域的各向异性从所述主表面向所述背面连续地提高；

其中的抗蚀剂灵敏度是指利用将具有特定尺寸和照射量的激光照射到抗蚀剂时的能够显影的部分的尺寸所定义的特性。

7.如权利要求6所述的功能梯度型无机抗蚀剂，其特征在于：

所述单层抗蚀剂的材料为WOx所示的物质，其中0.4≤x≤2.0；

使所述x的值从所述主表面至所述背面连续地减少。

8.如权利要求1至7的任一项所述的功能梯度型无机抗蚀剂，其特征在于，所述单层抗蚀剂的厚度为5nm以上且低于40nm的范围。