[发明专利]液体材料的排出方法、装置及程序

说明书

技术领域

本发明涉及一种液体材料的排出方法、装置及程序，该排出方法使在与具备有排出口的喷嘴连通的计量部内滑动的柱塞，移动所希望的量用来排出液体材料，经由控制上述柱塞的动作，不会使液体材料的排出量产生变动，并且可以重复地排出定量的液体材料。

另外，在本说明书中，“飞扬”是指液体材料在接触到涂布对象之前，从排出口离开。

背景技术

目前有被称为柱塞泵(或注射器泵)的排出装置。此种排出装置大多使用在液晶面板制造时的ODF工序等需要正确排出一定量的液体材料的情况。

柱塞泵概要地说是一种排出装置，所具有的特征是使密接在计量部内而进退移动的柱塞进行进出移动，用来从排出口排出液体材料，该柱塞的移动所排除的体积量可以从排出口排出，因此能够以良好的精确度排出，在使柱塞以高速进出移动后急速停止，可以用来从排出口切离液体材料而使其飞扬地排出。

在柱塞泵中，因为柱塞在计量部内密接地滑动，所以大多的情况是在接触部分设置密封部。因为该密封部是滑动的部分，所以会发生摩耗或变形等，对该泵会造成各种不良的影响。例如，当有摩耗时，会产生粒子而污染液体材料，并且必须频繁地更换。另一方面，当变形时，则不论是否停止柱塞的动作，柱塞也会移动，而排出多余的液体材料。

因此，直至目前，提案有各种对密封部施加改良的技术。例如，在专利文献1所揭示的技术是一种涂布装置，具备有涂布液移送泵，用来将涂布液导引到金属盖，涂布液移送泵所使用的密封构件是由可挠性材料形成的帽状体所构成，并且在将帽状体的开口端部固接于汽缸的内周面上的状态下，利用帽状体的躯干部(胴部)来覆盖柱塞，同时在汽缸和柱塞的间隙折返到下侧所形成的U字形折返部密封该间隙。

另外，在专利文献2所揭示的技术是一种调配器，具备有O环，该O环设置在形成于柱塞的前端部分的环状槽部，可以沿着注射器的内壁面滑动，上述调配器的特征在于：环状槽部是由在其全体区域具有平坦底壁的区画凹部所构成，隔开间隔而配置在环状槽部的侧壁，随着柱塞的压入而与O环的侧部抵接，弹性位移进而压缩变形，另一方面，设有多个凸部或槽，通过柱塞的压入负载的解除而使O环复原，并且使柱塞在压入方向的相反方向上滑动，用来引导内容物的反吸。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2006-281091号公报

专利文献2：日本专利特开2008-18351号公报

发明内容

(发明要解决的问题)

如上述的方式，在现有技术中，对柱塞施加各种改良，即使利用该技术，也不能提高反复多次排出时每次排出量的精确度。即，当柱塞进行排出用的动作，其每次动作的排出量会有不同，因而不能排出正确的量，使排出量产生变动。

当排出量产生变动时，则会在从喷嘴等排出口排出液体材料时，产生分成多个进行飞散等液滴形状不良，或产生不从喷嘴飞扬等排出不良。

因此，本发明的目的是提供一种可以达成使排出的液体材料的液滴形状、排出状态稳定，以及排出精确度提高的液体材料的排出方法、装置及程序。

(解决技术问题的技术方案)

本发明人假定排出量产生变动的原因是在柱塞的滑动部分作用的摩擦阻抗，在柱塞的动作开始时和动作中不同所造成，并验证此假说是否成立。在柱塞和计量部的内壁的摩擦阻抗包含有：从柱塞的静止状态转移为动作状态时所产生的静止摩擦、和柱塞的动作中所产生的动摩擦。在此处，推测为当从静止摩擦转移成动摩擦而使柱塞开始移动后，柱塞所受的摩擦阻抗急速变化。在此处的验证时发现，对于马达或空气汽缸这样的驱动源的动作，柱塞的动作不能正确地追踪，柱塞的移动量或速度不能成为一定，柱塞的动作变得不稳定(参照图2)。另外，发现驱动源本身受到柱塞的摩擦阻抗变化的影响，对于来自控制装置的指令，会有动作不一定的课题。

在对柱塞的密封部施加改良的现有技术的手法中，不能消除这些课题。

本发明人着重在柱塞的动作，特别是排出动作内的柱塞速度随时间的变化，发现经由提高柱塞动作开始时柱塞动作的稳定性，即可以解决课题，因而完成本发明。