[发明专利]液体材料的排出方法、装置及程序

权利要求书

1.一种液体材料的排出方法，设有用来计量液体材料的计量部、连通到计量部的一端的排出口、以及对计量部的内壁滑动地移动的柱塞，所述液体材料的排出方法包含以下工序：填充工序，使柱塞在排出口的相反方向上移动，用来将液体材料填充到计量部；和排出工序，使柱塞朝向排出口的方向移动然后停止，使液体材料从排出口飞扬排出；所述液体材料的排出方法的特征在于，

设有不进行液体材料的排出而使柱塞移动的预备动作的工序，用来将排出工序中的柱塞的速度控制为一定。

2.根据权利要求1所述的液体材料的排出方法，其特征在于，所述预备动作由如下构成：第一动作，使所述柱塞朝向排出口的相反方向仅移动既定距离S；和第二动作，使所述柱塞朝向排出口的方向仅移动与所述距离S相同或同等的距离。

3.根据权利要求2所述的液体材料的排出方法，其特征在于，将所述既定距离S设定为使所述柱塞加速至一定速度的距离。

4.根据权利要求2或3所述的液体材料的排出方法，其特征在于，在所述填充工序之后至开始所述排出工序，重复进行所述第一动作和所述第二动作。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的液体材料的排出方法，其特征在于，所述第一动作是以从排出口所吸引的外来气体不产生气泡的条件，使柱塞移动。

6.根据权利要求1或2所述的液体材料的排出方法，其特征在于，所述预备动作是由使所述柱塞朝向排出口方向缓慢加速的动作所构成。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的液体材料的排出方法，其特征在于，连续地进行所述预备动作和所述排出工序。

8.一种液体材料的排出装置，其特征在于，

具备有：计量部，用来计量液体材料；排出口，连通到计量部的一端；柱塞，对计量部的内壁滑动地移动；驱动源，用来驱动柱塞；和控制装置；

控制装置能够实施权利要求1至7中任一项所述的排出方法。

9.一种液体材料的涂布装置，其特征在于，

具备：设置有涂布对象物的载物台；权利要求8所述的排出装置；和用来使该排出装置和载物台进行相对移动的相对移动机构。

10.一种程序，其特征在于使液体材料的排出装置中的控制装置实施权利要求1至7中任一项所述的排出方法，其中所述液体材料的排出装置具备有用来计量液体材料的计量部、连通到计量部的一端的排出口、对计量部的内壁滑动地移动的柱塞、用来驱动柱塞的驱动源、和控制装置。