[发明专利]具有两层的压电谐振器

说明书

优先权主张

本申请案主张2009年6月11日申请的标题为“具有两层的压电谐振器(PIEZOELECTRIC RESONATOR WITH TWO LAYERS)”的第12/456,245号美国专利申请案的优先权，所述申请案在此以引用的方式并入且用于所有目的。

政府支持的申明

此著作受NASA Phase I SBIR NNJ07JB04C支持。

技术领域

背景技术

微机电系统(MEMS)滤波器具有的优势在于：能够减小当用作例如无线电的电子系统的部分时所需的大小、重量和功率。然而，MEMS型滤波器具有限制。举例来说，厚度MEMS型滤波器(例如，厚度延伸模式压电谐振器)通常限于每衬底裸片单一操作频率。对于另一实例，以光刻方式确定的操作频率谐振器(例如，轮廓延伸多晶硅谐振器)不能满足低阻抗(例如，50Ω)规格。

发明内容

附图说明

本发明的各种实施例揭示于以下具体实施方式和附图中。

图1为说明具有两个压电层的压电谐振器的一实施例的方框图。

图2为说明具有两个压电层的压电谐振器的顶部金属电极的俯视图的一实施例的图。

图3为说明具有两个压电层的压电谐振器的底部金属电极的俯视图的一实施例的图。

图4为说明具有两个压电层的压电谐振器的一实施例的方框图。

图5A和图5B为说明连接到中间金属层的通孔的实施例的图。

图6A和图6B为说明连接到顶部金属电极层和底部金属电极层的通孔的实施例的图。

图7为说明具有两个压电层的压电谐振器的一实施例的方框图。

图8为说明包括具有两个压电层的压电谐振器的顶部金属电极的俯视图的一实施例的图。

图9为说明具有两个压电层的压电谐振器的底部金属电极的俯视图的一实施例的图。

图10为说明具有两个压电层的压电谐振器的一实施例的方框图。

图11为说明具有两个压电层的压电谐振器的一实施例的方框图。

图12为说明一个实施例中的谐振器结构的频率响应的曲线图。

具体实施方式

可以众多方式来实施本发明，包括作为过程；设备；系统；物质组成；体现于计算机可读存储媒体上的计算机程序产品；以及/或处理器，例如，经配置以执行存储于耦合到处理器的存储器上和/或由存储器提供的指令的处理器。在此说明书中，这些实施方案或本发明可采取的任何其它形式可被称作技术。一般来说，可在本发明的范围内更改所揭示的过程的步骤的次序。除非另有规定，否则可将描述为经配置以执行任务的组件(例如，处理器或存储器)实施为经临时配置以在给定时间执行任务的一般组件或经制造以执行任务的特定组件。如本文中所使用，术语“处理器”指代经配置以处理数据(例如，计算机程序指令)的一个或一个以上装置、电路和/或处理核心。

下文连同说明本发明的原理的附图一起来提供本发明的一个或一个以上实施例的详细描述。结合此些实施例来描述本发明，但本发明不限于任何实施例。本发明的范围仅受权利要求书限制，且本发明涵盖众多替代方案、修改和均等物。在以下描述中阐述众多特定细节以便提供对本发明的透彻理解。出于实例的目的而提供这些细节，且可在无一些或所有这些特定细节的情况下根据权利要求书来实践本发明。为了清晰起见，与本发明有关的在技术领域中已知的技术材料并未详细地描述，以使得不会不必要地使本发明模糊不清。