[发明专利]具有两层的压电谐振器

权利要求书

1.一种压电谐振器装置，其包含：

第一层，其包括一个或一个以上第一层金属电极，其中在所述第一层的第一区域中包括沿着一个维度的第一层周期性结构，所述第一层周期性结构包含所述一个或一个以上第一层金属电极中的一者和不具有第一层金属电极的空间；

第二层，其包含第一压电材料，其中所述第二层邻近于所述第一层；

第三层，其包括一个或一个以上第三层金属电极，其中所述第三层邻近于所述第二层，与所述第一层相对；

第四层，其包含第二压电材料，其中所述第四层邻近于所述第三层，与所述第二层相对；以及

第五层，其包括一个或一个以上第五层金属电极，其中所述第五层邻近于所述第四层，与所述第三层相对，且其中在所述第五层的第二区域中包括沿着所述一个维度的第五层周期性结构，所述第五层周期性结构包含所述一个或一个以上第五层金属电极中的一者和不具有第五层金属电极的空间，其中在所述第一层或所述第五层中的所述金属电极中的第一金属电极耦合到经配置以提供第一信号的第一触点，且在所述第一层或所述第五层中的所述金属电极中的第二金属电极耦合到经配置以提供第二信号的第二触点。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一触点经配置以接收所述第一信号。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述第二触点经配置以接收所述第二信号。

4.根据权利要求2所述的装置，其中所述第二触点经配置以输出所述第二信号。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一触点与第一端口相关联。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述第二触点与第二端口相关联。

7.根据权利要求6所述的装置，其中所述第三层耦合到接地。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一层周期性结构与所述第五层周期性结构对准，以使得所述一个或一个以上第五层金属电极中的所述一者在不具有第一层金属电极的所述空间下方居中，且所述一个或一个以上第一层金属电极中的所述一者在不具有第五层金属电极的所述空间上方居中。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一层周期性结构与所述第五层周期性结构对准，以使得所述一个或一个以上第五层金属电极中的所述一者在所述一个或一个以上第一层金属电极中的所述一者下方居中。

10.一种压电谐振器装置，其包含：

第一层，其包括一个或一个以上第一层金属电极，其中在所述第一层的第一区域中包括沿着一个维度的第一层周期性结构，所述第一层周期性结构包含所述一个或一个以上第一层金属电极中的一者和不具有第一层金属电极的空间；

第二层，其包含第一压电材料，其中所述第二层邻近于所述第一层；

第三层，其包括一个或一个以上第三层金属电极，其中所述第三层邻近于所述第二层，与所述第一层相对；

第四层，其包含第二压电材料，其中所述第四层邻近于所述第三层，与所述第二层相对；以及

第五层，其包括一个或一个以上第五层金属电极，其中所述第五层邻近于所述第四层，与所述第三层相对，且其中在所述第五层的第二区域中包括沿着所述一个维度的第五层周期性结构，所述第五层周期性结构包含所述一个或一个以上第五层金属电极中的一者和不具有第五层金属电极的空间，其中所述一个或一个以上第一层金属电极包含与第二多个电极相互交叉的第一多个电极。

11.根据权利要求10所述的装置，其中所述第一多个第一层金属电极彼此电耦合，且其中所述第二多个第一层金属电极彼此电耦合。

12.根据权利要求10所述的装置，其中所述一个或一个以上第五层金属电极包含与第二多个电极相互交叉的第一多个电极。

13.根据权利要求12所述的装置，其中所述第一多个第五层金属电极彼此电耦合，且其中所述第二多个第五层金属电极彼此电耦合。

14.根据权利要求12所述的装置，其中所述第一多个第一层金属电极电耦合到所述第二多个第五层金属电极，且其中所述第二多个第一层金属电极电耦合到所述第一多个第五层金属电极。