[发明专利]清洗装置以及清洗方法

权利要求书

1.一种清洗装置，其特征在于，具备：

清洗槽，其中积存清洗液并在该清洗液中浸渍被清洗物；

减压机构，其将该清洗槽内的气体向外部吸引排出而对所述清洗槽内进行减压；以及

供气机构，其在由该减压机构使所述清洗槽内的气相部的压力下降到所述清洗槽内的清洗液的蒸汽压力以下的状态或下降到就要到达所述清洗槽内的清洗液的蒸汽压力的状态下，从所述被清洗物的下方朝向所述清洗槽内的清洗液中导入气体。

2.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

所述清洗装置还具备对所述清洗槽内的清洗液进行加热的加热机构，

在由该加热机构将清洗液加热到设定温度之后，由所述减压机构对所述清洗槽内进行减压而使清洗液沸腾，在该沸腾中由所述供气机构向清洗液中导入气体。

3.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，

反复进行下述三种操作，其一是停止由所述供气机构向清洗液中导入气体；其二是在将清洗液再加热到所述设定温度或不进行再加热的状态下，对所述清洗槽内进行减压直到使清洗液再沸腾；其三是在该沸腾中由所述供气机构向清洗液中导入气体。

4.如权利要求2或3所述的清洗装置，其特征在于，

所述清洗装置还具备向由所述减压机构减压后的所述清洗槽内的气相部导入气体，而使所述清洗槽内的压力恢复而复压的复压机构，

在由所述加热机构将清洗液加热到所述设定温度并进行保持之后，由所述减压机构继续对所述清洗槽内进行减压以使清洗液持续沸腾，并在该减压中反复进行将所述清洗槽内瞬时暂时复压直到清洗液的沸腾止住，

在将清洗液保持为所述设定温度的期间，进行基于所述减压机构的所述清洗槽内的减压以及由此引起的清洗液的沸腾中的基于所述供气机构的气体导入。

5.如权利要求1～4中任一项所述的清洗装置，其特征在于，

所述供气机构在所述清洗槽内的底部具备横向配置的管，

在该管上以设定间隔形成有朝向下方开口的气体导出孔。

6.一种清洗方法，其是在积存于清洗槽内的清洗液中浸渍被清洗物而实现清洗的清洗方法，其特征在于，

对所述清洗槽内进行减压，在使所述清洗槽内的气相部的压力下降到所述清洗槽内的清洗液的蒸汽压力以下的状态或下降到就要到达所述清洗槽内的清洗液的蒸汽压力的状态下，从所述被清洗物的下方朝向所述清洗槽内的清洗液中导入气体。

7.如权利要求6所述的清洗方法，其特征在于，

在将所述清洗槽内的清洗液加热到设定温度之后，对所述清洗槽内进行减压而使清洗液沸腾，在该沸腾中向清洗液中导入气体。