[发明专利]光信息记录媒体、形成光信息记录媒体的反射膜用的溅射靶

说明书

技术领域

本发明涉及使用例如蓝色激光进行重放的只读型BD(蓝光光盘)等的光信息记录媒体、以及形成该光信息记录媒体的反射膜用的溅射靶。

背景技术

光信息记录媒体(光盘)根据记录重放原理，粗分为只读型、一次性写入型、重写型3种。

在图1中模式性表示只读型光信息记录媒体(单层光盘)的代表性结构。如图1所示，只读型光信息记录媒体具有在透明塑料等的基板1上依次叠层Ag、Al、Au等为主成分的反射膜2、透光层3的结构。在基板1上，记录被称为“平地·凹坑(Land pit)”的凹凸组合形成的信息，采用例如厚度为1.1mm、直径12cm的聚碳酸酯制造的基板。透光层3通过例如贴合透光片或涂布透光性树脂并使其固化形成。记录数据的重放通过检测照射于光盘的激光的相位差或反射差进行。

图1表示在记录有平地·凹坑(记录数据)的组合形成的信息的基板1上分别逐层形成反射膜2和透光层3的单层光盘，但是例如图2所示，也可使用具备第1信息记录面11及第2信息记录面12的双层光盘。具体而言，图2的双层光盘具有在记录凹凸的平地·凹坑(记录数据)组合形成的信息的基板1上依序叠层第1反射膜2A、第1透光层3A、第2反射膜2B、以及第2透光层3B的结构，在第1透光层3A，利用平地·凹坑的组合记录有别于基板1的信息。

作为使用于光盘的上述反射膜，迄今为止通常采用Au、Cu、Ag、Al以及以它们为主成分的合金。

这其中，以Au为主成分的反射膜具有化学稳定性优异、记录特性随时间的变化小的优点，但是价格极其昂贵，而且存在对于例如BD的记录重放中使用的蓝色激光(波长405nm)得不到足够高的反射率的问题。而以Cu为主成分的反射膜虽然廉价，但是却是已有的反射膜材料中化学稳定性最差的，此外还与Au一样具有对蓝色激光的反射率低的缺点，其用途受到限制。与此相对，以Ag为主成分的反射膜，在实用波长区域400～800nm的范围显示出足够高的反射率，具有很高的化学稳定性，因此，当前在使用蓝色激光的光盘中得到广泛利用。

Al在波长405nm下显示出十分高的反射率，与Ag、Au相比，价格便宜，但是比Ag类和Au类的反射膜化学稳定性差。从而，为了确保耐用性，反射膜的厚度要有足够厚，例如在DVD-ROM的情况下，将Al类反射膜的厚度做的十分厚。但是在使用蓝色激光的BD-ROM(只读型蓝光光盘)的情况下，像以往那样使Al类反射膜的膜厚增大时，记录信号(重放信号)的精度下降(也就是抖动值增大)，存在不能够进行稳定重放的问题。又，即使是反射膜刚形成时具有优异的特性(初始反射率、初始抖动值)，在高温高湿度条件下长期保管的情况下，也有这些性能劣化的问题，因此最好是所述反射膜具有优异的耐用性。

作为光盘的反射膜使用Al类合金的技术，在例如专利文献1列举出了将作为添加元素包含Ge、Ti、Ni、Si、Tb、Fe、Ag中的至少一种以上元素的Al合金使用于反射膜的光信息记录媒体。

但是，专利文献1是以适用于DVD为前提的技术，可以认为，为了将其适用于例如所述BD-ROM，必须提高记录信号的正确性以实现稳定的重放。

专利文献1：国际公开第01/008145号

发明内容

本发明是着眼于上述情况而作出的，其目的在于，提供作为光信息记录媒体(例如BD-ROM)的反射膜，具备显示出合适的光盘反射率(以下简称“反射率”)，同时重放稳定性优异，更理想的是耐用性也极其优异的反射膜的光信息记录媒体、以及对于上述反射膜的形成有用的溅射靶。

本发明包含下述形态。

(1)一种只读型光信息记录媒体是具有反射膜的只读型光信息记录媒体，所述反射膜由Al基合金构成，其中所述Al基合金以5～40％(在没有特别指出的情况下，成分中“％”意味着“原子％的比率”。而且在包含Si及Ge的情况下，指其合计量。下同)包含Si及Ge中的至少一种元素。

(2)在(1)记载的只读型光信息记录媒体中，进一步以0.7～5％(包含两种以上的元素的情况下，指其合计量。下同)包含高熔点金属元素和稀土类元素中的至少一种元素。

(3)在(2)记载的只读型光信息记录媒体中，所述高熔点金属元素为从由Ti、Fe、Mn、Ta、W、Mo、Cr、V、Zr、Nb、Hf构成的组中选出的一种以上的元素。

(4)在(2)记载的只读型光信息记录媒体中，所述稀土类元素为Nd及Y中的至少一种元素。