[发明专利]光信息记录媒体、形成光信息记录媒体的反射膜用的溅射靶

权利要求书

1.一种具有反射膜的只读型光信息记录媒体，其特征在于，所述反射膜由Al基合金构成，其中所述Al基合金以5～40原子％的比率含有Si和Ge中的至少一种元素。

2.如权利要求1所述的只读型光信息记录媒体，其特征在于，进一步以0.7～5原子％的比率包含高熔点金属元素和稀土类元素中的至少一种元素。

3.如权利要求2所述的只读型光信息记录媒体，其特征在于，所述高熔点金属元素是从由Ti、Fe、Mn、Ta、W、Mo、Cr、V、Zr、Nb、Hf构成的组中选出的一种以上的元素。

4.如权利要求2所述的只读型光信息记录媒体，其特征在于，所述稀土类元素是Nd和Y中的至少一种元素。

5.如权利要求1～4中的任一项所述的只读型光信息记录媒体，其特征在于，包含在基板上叠层所述反射膜和透光层的结构，并且利用蓝色激光进行信息的重放。

6.一种反射膜形成用的溅射靶，是使用于权利要求1所述的光信息记录媒体的反射膜形成用的溅射靶，其特征在于，由Al基合金构成，其中所述Al基合金以5～40原子％的比率含有Si和Ge中的至少一种元素。

7.一种光信息记录媒体的反射膜形成用的溅射靶，是使用于权利要求2所述的光信息记录媒体的反射膜的形成用的溅射靶，其特征在于，由Al基合金构成，其中所述Al基合金以5～40原子的比率％含有Si和Ge中的至少一种元素并且同时以0.7～5原子％的比率含有高熔点金属元素和稀土类元素中的至少一种元素。

8.如权利要求7所述的溅射靶，其特征在于，所述高熔点金属元素是从由Ti、Fe、Mn、Ta、W、Mo、Cr、V、Zr、Nb、Hf构成的组中选出的1种以上的元素。

9.如权利要求7所述的溅射靶，其特征在于，所述稀土类元素是Nd和Y中的至少一种元素。