[发明专利]调整阀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用空气等工作流体开闭阀芯的调整阀装 置。

背景技术

以往，有人提出在半导体制造装置、有机EL(Electro  Luminescence，电致发光)装置、FPD(Flat Panel Display， 平板显示器)装置等的制造装置中，为了进行在成膜等的制造 中所用的流体的输送通路的开闭、流量调整而在输送通路上设 置调整阀装置(参照专利文献1、2)。例如，在专利文献1、2 所述的调整阀装置中，将波纹管的一端焊接于阀芯，将波纹管 的另一端焊接于波纹管支架，由此利用波纹管划分出阀体内的 输送通路与阀杆的周围空间，该阀体收纳有阀芯。在该状态下 使阀芯滑动，使阀芯与输送通路的阀座面抵接或自阀座面离开， 从而进行输送通路的开闭、流量调整。阀芯和阀座面例如由SUS 等不锈钢、铝形成。

专利文献1：日本特开平06-074363号公报

专利文献2：日本特开平11-153235号公报

发明要解决的问题

但是，在进行阀芯的开闭动作时，因阀芯与阀座面之间的 机械性的干涉、组装时所发生的阀芯与阀座面的微小的偏移， 有时在阀芯的开闭部分发生泄漏。特别在以调整阀装置的内部 达到300℃以上的工艺条件进行阀芯的开闭动作的情况下，泄漏 的发生频率增加，泄漏量增多。例如以在有机EL装置的输送通 路上安装调整阀装置而利用调整阀装置开闭输送通路的情况为 例进行说明。在蒸镀源蒸发后的成膜材料(有机分子)与载气 一并通过输送通路而被输送至基板。在输送的过程中，考虑到 附着系数，为了避免成膜材料附着于输送通路的内壁，需要使 输送通路处于300℃以上的高温状态。由此，阀芯附近成为300 ℃以上的高温状态。当在该种状态下重复进行阀芯的开闭动作 时，不仅发生机械性的干涉，而且受热量的影响在阀芯与阀座 面之间发生摩擦、熔化，引发热粘、发热胶着。结果，在阀芯 的开闭部分频繁发生泄漏，且泄漏量也增加。在将Ni-Co等的 树脂涂覆在阀芯上的情况下，由于树脂的耐热温度低，因此当 暴露于高温时，发生变形和熔化，由此发生热粘、发热胶着的 可能性增加。结果，泄漏的发生频率更高，阀芯的开闭精度降 低。

发明内容

因此，为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种能 够使阀芯的构造、形状适当化、提高阀芯的开闭精度的调整阀 装置。

用于解决问题的方案

即，为了解决上述问题，本发明提供一种调整阀装置，其 包括：阀芯，其是利用阀杆连结阀芯头部和阀芯身部而成的； 动力传递构件，其借助上述阀杆与上述阀芯相连结，将动力传 递给上述阀芯；阀体，其内置有能滑动的上述阀芯和能滑动的 上述动力传递构件；第一波纹管，其通过将一端固定安装于上 述动力传递构件，将另一端固定安装于上述阀体，相对于上述 动力传递构件来说在与上述阀芯相反一侧的位置形成第一空 间；第二波纹管，其通过将一端固定安装于上述动力传递构件， 将另一端固定安装于上述阀体，相对于上述动力传递构件来说 在靠上述阀芯一侧的位置形成第二空间；第一配管，其与上述 第一空间相连通；第二配管，其与上述第二空间相连通，该调 整阀装置根据自上述第一配管供给到上述第一空间内的工作流 体与自上述第二配管供给到上述第二空间内的工作流体间的比 率，自上述动力传递构件经由上述阀杆将动力传递给上述阀芯， 从而利用上述阀芯头部对形成在上述阀体中的输送通路进行开 闭。

这样，如图5所示，利用第一波纹管320b而相对于动力传 递构件320a在与阀芯310相反一侧的位置形成第一空间Us，利 用第一波纹管320b和第二波纹管320c而相对于动力传递构件 320a在靠阀芯一侧的位置形成第二空间Ls。能够根据供给到该 第一空间Us内的工作流体和供给到第二空间Ls内的工作流体 间的比率，使被第1空间和第二空间夹着的动力传递构件320a 沿阀芯的关闭方向或打开方向滑动。该动力经由阀杆310c传递 给阀芯头部310a。结果，能够利用阀芯头部310a开闭输送通路 (去路200a1和回路200a2)。

阀芯既可以具有利用阀杆连结阀芯头部和阀芯身部而成的 构造，也可以将阀芯头部和阀芯身部形成为一体构造。

另外，上述阀杆贯穿在上述阀芯身部的长度方向的中央， 插入到设于上述阀芯头部的中央的凹部中。