[发明专利]调整阀装置

权利要求书

1.一种调整阀装置，其包括：

阀芯，其是利用阀杆连结阀芯头部和阀芯身部而成的；

动力传递构件，其借助上述阀杆与上述阀芯相连结，用于 将动力传递给上述阀芯；

阀体，其内置有能滑动的上述阀芯和能滑动的上述动力传 递构件；

第一波纹管，其通过将一端固定安装于上述动力传递构件， 将另一端固定安装于上述阀体，相对于上述动力传递构件来说 在与上述阀芯相反一侧的位置形成第一空间；

第二波纹管，其通过将一端固定安装于上述动力传递构件， 将另一端固定安装于上述阀体，相对于上述动力传递构件来说 在靠上述阀芯一侧的位置形成第二空间；

第一配管，其与上述第一空间相连通；

第二配管，其与上述第二空间相连通，

该调整阀装置根据自上述第一配管供给到上述第一空间内 的工作流体与自上述第二配管供给到上述第二空间内的工作流 体间的比率，自上述动力传递构件经由上述阀杆将动力传递给 上述阀芯，从而利用上述阀芯头部对形成在上述阀体中的输送 通路进行开闭。

2.根据权利要求1所述的调整阀装置，其中，

上述阀杆贯穿在上述阀芯身部的长度方向的中央，插入到 设于上述阀芯头部的中央的凹部中。

3.根据权利要求2所述的调整阀装置，其中，

在上述阀杆与设于上述阀芯头部的中央的凹部之间设有游 隙。

4.根据权利要求1所述的调整阀装置，其中，

该调整阀装置具有第三波纹管，该第三波纹管通过将一端 固定安装于上述阀芯头部，将另一端固定安装于上述阀芯身部， 隔断上述阀杆一侧的空间和上述输送通路一侧的空间。

5.根据权利要求1所述的调整阀装置，其中，

上述阀芯头部的与上述输送通路抵接的部分是锥形，该抵 接的部分与垂直于上述阀芯头部的前端面的线段所成的锥形开 度θ是40°～80°。

6.根据权利要求1所述的调整阀装置，其中，

上述阀芯头部的与上述输送通路抵接的部分是圆弧状，是 具有期望的曲率半径的构造。

7.根据权利要求1所述的调整阀装置，其中，

上述阀芯头部是以维氏硬度为500HV以上的方式堆焊 Stellite合金而得到的金属。

8.根据权利要求7所述的调整阀装置，其中，

对上述阀芯头部实施钴合金系的堆焊。

9.根据权利要求1所述的调整阀装置，其中，

与上述阀芯头部抵接的上述输送通路的阀座面是以使维氏 硬度大概为200HV～400HV的方式利用表面抛光加工进行了 表面加工后得到的金属的面。

10.根据权利要求1所述的调整阀装置，其中，

上述调整阀装置用于进行将成膜被处理体的有机分子输送 至被处理体附近的输送通路的开闭。

11.根据权利要求10所述的调整阀装置，其中，

上述调整阀装置可以在内部为300℃以上的环境下使用。