[发明专利]基板搬运处理系统及基板搬运处理方法、以及部件安装装置及方法

权利要求书

1.一种基板搬运处理系统，具备：

第一及第二作业装置，其彼此邻接配置，且具备能够解除地吸附保持基板的下表面的基板台和对保持于基板台的基板进行处理的作业处理单元；

基板移载装置，其具有：臂部；支承轴，其固定于臂部的一端，且在水平面内将臂部支承为能够回旋，并且配置在第一作业装置和第二作业装置之间；保持单元，其支承于臂部的另一端，能够解除地吸附保持基板的上表面；旋转驱动装置，其以支承轴为旋转中心使臂部回旋，从而使保持单元回旋移动；姿势保持机构，其使回旋移动的保持单元在水平方向上保持为一定姿势，

基板移载装置的旋转驱动装置在第一作业装置的基板台上的位置即第一移载位置和第二作业装置的基板台上的位置即第二移载位置之间进行保持单元的回旋移动，并从第一作业装置的基板台向第二作业装置的基板台在水平方向上保持为一定姿势且同时搬运基板。

2.如权利要求1所述的基板搬运处理系统，其中，

在第一及第二作业装置中，各作业处理单元按照彼此邻接的方式配置于沿基板的搬运方向的一端部区域，

在各作业处理单元之间配置有基板移载装置的支承轴。

3.如权利要求1所述的基板搬运处理系统，其中，

各基板台具备：

基板载置部，其能够解除地吸附保持基板的下表面；

升降装置，其使基板载置部升降；

水平方向移动装置，其使基板载置部在水平方向上移动，

水平方向移动装置能够将基板载置部定位于移载位置，

升降装置能够将基板载置部定位于移载位置中的移载高度。

4.如权利要求1所述的基板搬运处理系统，其中，

基板移载装置的姿势保持机构是具备第一联杆和第二联杆的平行联杆机构，所述第一联杆是臂部，所述第二联杆与该第一联杆平行配置且通过臂部的回旋动作在保持与第一联杆的平行关系的状态下回旋。

5.如权利要求1所述的基板搬运处理系统，其中，

基板移载装置的保持单元具备：

多个吸附保持构件，其吸附保持基板的上表面；

多个落下防止用卡合构件，其能够在保持基板的端部的卡合位置和解除保持的卡合解除位置之间动作；

卡合构件动作装置，其至少在基板移载装置的基板的移载动作异常时使落下防止用卡合构件从卡合解除位置动作至卡合位置。

6.如权利要求1所述的基板搬运处理系统，其中，

在基板移载装置中，还具备能够与位于第一作业装置的第一移载位置的状态的基板的水平方向的姿势对应而对保持单元的水平方向的姿势进行调整的调整机构，

被调整机构对应于位于第一作业装置的第一移载位置的基板的水平方向的姿势而调整了其水平方向的姿势的保持单元进行回旋移动，由此，在从第一移载位置向第二移载位置保持了水平方向的姿势的状态下，进行基板的移载。

7.一种部件安装装置，

在权利要求1～6中任一项所述的基板搬运处理系统中，各作业装置通过作业处理单元对配置于基板的端部的部件安装区域进行用于部件安装的作业处理，

通过利用基板移载装置从第一作业装置向第二作业装置移载基板，而对基板的部件安装区域依次进行用于部件安装的作业处理。

8.一种基板搬运处理方法，

在彼此邻接配置且具备能够解除地吸附保持基板的下表面的基板台和对保持于基板台的基板进行处理的作业处理单元的第一作业装置和第二作业装置之间进行基板的搬运，

使用具有臂部、支承轴和保持单元的基板移载装置，在第一作业装置的基板台上的位置即第一移载位置，通过保持单元吸附保持被吸附保持于基板台上的基板的上表面，并且解除基于基板台的吸附保持并将基板从基板台向保持单元交接，所述支承轴固定于臂部的一端，且在水平面内将臂部支承为能够回旋，并且配置在第一作业装置和第二作业装置之间，所述保持单元支承于臂部的另一端，能够解除地吸附保持基板的上表面，

通过以支承轴为旋转中心使臂部回旋，而在第二作业装置的基板台上的位置即第二移载位置，在保持了水平方向的基板的姿势的状态下，使保持单元回旋移动，

在第二移载位置，由基板台吸附保持基板，并且解除基于保持单元的吸附保持并将基板从保持单元向基板台交接，进行基板的搬运。