[发明专利]具有用臭氧分解NOX的废气清洁系统的灭菌器

权利要求书

1.一种用于排出废气的排气系统，所述废气是使用高浓度NO₂气体对待灭菌物品进行灭菌用过的废气，所述排气系统包括：

臭氧发生器；用于吸附所述臭氧发生器产生的臭氧和所述废气中的NO₂、并通过臭氧和NO₂的反应来加速五氧化二氮或硝酸的产生以保留生成物的气体处理装置；和用于排出所述废气的排气装置。

2.根据权利要求1所述的排气系统，其中所述臭氧发生器包括臭氧化发生器和用于储存所述臭氧化发生器产生的臭氧的臭氧室。

3.根据权利要求1或2所述的排气系统，其中在所述气体处理装置的上游侧还设置有用于调节所述废气中NO₂和臭氧的混合比的缓冲部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的排气系统，其中所述气体处理装置使用吸附催化剂。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的排气系统，其中所述排气装置多次排出灭菌用过的所述废气。

6.一种灭菌装置，其包括：

(a)通过循环路径配置的NO₂气体供应系统，其中连接有用于储存高浓度NO₂气体的腔室、等离子体发生器和循环装置；

(b)经由第一开/关装置与所述腔室连接的灭菌室；和

(c)经由第二开/关装置与所述灭菌室连接的根据权利要求1所述的排气系统。

7.根据权利要求6所述的灭菌装置，其中所述腔室经第三开/关装置与所述排气系统连接。

8.根据权利要求6或7所述的灭菌装置，其中所述灭菌室设置有用于将所述灭菌室中的高浓度NO₂气体经由NO₂传感器返回至所述灭菌室的测量路径。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的灭菌装置，其中多个灭菌室与单个排气系统连接。

10.一种使用根据权利要求6至9中任一项所述的灭菌装置的灭菌方法，其中在排出对待灭菌物品进行灭菌用过的高浓度NO₂气体的排气步骤中，将高浓度NO₂气体以预定的NO₂气体含量部分排出至排气系统。

11.一种使用根据权利要求6至9中任一项所述的灭菌装置的灭菌方法，其中在对待灭菌物品进行灭菌的灭菌步骤之后排出用过的高浓度NO₂气体的气体排出步骤中，重复下述步骤：当第一开/关装置为关、且第二开/关装置为开时，通过排气系统的排出装置将灭菌室中的高浓度NO₂气体排出至废气处理装置，以在灭菌室中获得负压，随后，通过打开第一开/关装置和关闭第二开/关装置，通过负压将残留在腔室中的高浓度NO₂气体抽吸至灭菌室内。

12.一种使用根据权利要求6至9中任一项所述的灭菌装置的灭菌方法，其包括以下步骤：

(d)将待灭菌物品放置在灭菌室中(放置步骤)；

(e)对灭菌室的内部进行抽真空(抽真空步骤)；

(f)对灭菌室的内部进行增湿(增湿步骤)；

(g)打开第一开/关装置，以将通过NO₂气体系统产生并储存在腔室中的NO₂气体供应至灭菌室(供应步骤)：

(h)将干燥的气体混合物充入在腔室中(充气步骤)；和

(i)通过驱动NO₂气体供应系统产生NO₂气体(循环步骤)，

其中步骤(g)至(i)重复多次。

13.根据权利要求12所述的灭菌方法，其中在步骤(h)充气步骤之前，进行以下步骤：关闭第一开/关装置并打开第三开/关装置，以将腔室和排气系统直接连接，以用排气系统将残留在腔室中的NO2气体排出，并对腔室进行抽真空(排气步骤)。