[发明专利]涡轮分子泵及涡轮分子泵用颗粒捕集器

说明书

技术领域

本发明涉及一种涡轮分子泵及涡轮分子泵用颗粒捕集器。

背景技术

涡轮分子泵用于半导体生产等的蚀刻处理、CVD处理。当从进行那些处理的真空室向涡轮分子泵内流入反应生成物等颗粒时，有时颗粒被高速旋转的转子弹起，使得该反跳颗粒到达真空室。其结果，存在反跳颗粒附着在晶圆上而使半导体的成品率下降的问题。

作为降低这样的反跳颗粒朝向真空室的逆向流动的结构，提出了记载于专利文献1至3中的那样的结构。在专利文献1中，在泵壳体内周面上设置用于捕捉颗粒的小室，利用旋转叶片使颗粒向该小室方向跳起。在专利文献2中，在泵壳体内设有由橡胶材料、海绵材料、棉花材料等构成的捕捉构件、反弹系数较小的缓冲构件。此外，在专利文献3中，作为颗粒捕捉机构包括由不锈钢毛毡、氟树脂的毛毡构成的絮状体。

专利文献1：日本特开2006-307823号公报

专利文献2：日本特开2007-211696号公报

专利文献3：日本特开2007-180467号公报

发明要解决的问题

然而，存在无法利用小室、橡胶材料、海绵材料、棉花材料及毛毡等捕捉构件充分地捕捉颗粒的问题。此外，在记载于专利文献3的结构中，在进气口附近设有圆盘状的捕捉构件，因此具有由于设有捕捉构件从而排气速度下降较多的缺点。

发明内容

用于解决问题的方案

本发明的涡轮分子泵的第1方式包括：转子，其形成有多层旋转叶片，且该转子能够进行高速旋转；多个固定叶片，它们在泵轴线方向上与旋转叶片交替配置；泵外壳，其用于容纳旋转叶片及固定叶片，且在该泵外壳上形成有进气口；圆盘，其设在与转子的进气口一侧接近的位置，且该圆盘以与转子的比旋转叶片根部靠内径侧的面相面对的方式进行配置；圆筒状的网眼结构体，其配置在进气口和转子之间，且由细线编织而成，将被转子弹起的颗粒捕捉到网眼结构体的内部。

此外，也可以包括多个相对于圆筒状的网眼结构体呈放射状配置的、与泵进气口垂直配置的板状的网眼结构体。

本发明的涡轮分子泵的第2方式包括：转子，其形成有多层旋转叶片，且该转子能够进行高速旋转；多个固定叶片，它们在泵轴线方向上与旋转叶片交替配置；泵外壳，其用于容纳旋转叶片及固定叶片，且在泵外壳上形成有进气口；圆盘，其设在与转子的进气口一侧接近的位置上，且该圆盘以与转子的比旋转叶片根部靠内径侧的面相面对的方式进行配置；网眼结构体，其沿泵外壳的内壁设置，该网眼结构体由细线编织而成。

此外，也可以包括保护网，其具有圆盘和以包围该圆盘的方式设置且形成有多个开口的网区域，该保护网用于防止经过上述进气口的异物进入到上述泵外壳内。

此外，网眼结构体也可以是将编织细线而成的布状的网以层状配置而成的。

此外，细线可以由不锈钢细线构成，也可以由二氧化硅的比例为6％～10％的硅铝酸纤维构成。

本发明的涡轮分子泵的第3方式包括：壳体，其具有用于与涡轮分子泵的进气口法兰相连接的第1法兰和用于与真空装置侧的排气口法兰相连接的第2法兰；圆筒状的网眼结构体，其配置在壳体内，且由细线编织而成，使得在该网眼结构体的内部捕捉被涡轮分子泵的转子弹起的颗粒。

此外，也可以包括圆盘，其以与涡轮分子泵的转子上表面的方式相面对的配置在第1法兰侧，且其直径尺寸小于等于涡轮分子泵的转子的旋转叶片根部的直径。

此外，也可以包括保护网，其具有直径尺寸小于等于涡轮分子泵的旋转叶片根部的直径的圆形区域和以包围该圆形区域的周围的方式设置且形成有多个开口的网区域，该保护网用于防止通过进气口法兰的异物进入到涡轮分子泵内。

此外，也可以包括多个板状的网眼结构体，其相对于圆筒状的网眼结构体呈放射状配置，且沿第1法兰及第2法兰的轴线方向配置。

此外，细线可以由不锈钢细线构成，也可以由二氧化硅的比例为6％～10％的硅铝酸纤维构成。

发明的效果

若采用本发明，则能够提供一种抑制排气速度的下降、且防止反跳颗粒的逆向流动的涡轮分子泵。

附图说明

图1是表示本发明的涡轮分子泵的概略结构的剖视图。

图2是表示搭载涡轮分子泵10的CVD成膜装置的概略结构的图。

图3是表示涡轮分子泵的设有挡板15的部分的放大图。

图4是挡板15的立体图。