[发明专利]具有掺杂衬底的集成电路电感器在审

专利信息
申请号: 201080006334.X 申请日: 2010-01-19
公开(公告)号: CN102301471A 公开(公告)日: 2011-12-28
发明(设计)人: J·T·瓦特;S·陈 申请(专利权)人: 阿尔特拉公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L27/04
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 赵蓉民
地址: 美国加*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 具有 掺杂 衬底 集成电路 电感器
【权利要求书】:

1.一种集成电路,其包括:

螺旋电感器;和

位于所述螺旋电感器下方的具有n型掺杂区的p型衬底,其中所述n型掺杂区被正偏置使得所述p型衬底在所述n掺杂区之间被完全耗尽。

2.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述n型掺杂区包括n型阱。

3.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述n型掺杂区包括深n型阱。

4.根据权利要求3所述的集成电路,其中所述n型掺杂区包括n+区。

5.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述n型掺杂区被设置在所述p型衬底上的L形条带中。

6.根据权利要求5所述的集成电路,其中所述n型掺杂区的条带包括n+条带。

7.根据权利要求6所述的集成电路,其中所述n+条带被硅化。

8.根据权利要求5所述的集成电路,其中所述n型掺杂区的条带包括形成在n型阱的条带中的n+条带。

9.根据权利要求8所述的集成电路,其中所述n+条带被硅化。

10.根据权利要求5所述的集成电路,其中所述n型掺杂区的条带包括形成在深n型阱上方的n型阱。

11.根据权利要求5所述的集成电路,其中所述n型掺杂区的条带包括形成在n型阱的条带中的n+条带,其中所述n型阱形成在深n型阱上方。

12.根据权利要求11所述的集成电路,其中所述n+条带被硅化。

13.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述n型掺杂区被设置在所述p型衬底上的三角梳状图案的条带中,以及其中所述条带垂直于所述电感器的螺旋。

14.根据权利要求13所述的集成电路,其中所述n型掺杂区的条带包括n型阱的条带。

15.根据权利要求14所述的集成电路,其中所述n型掺杂区的条带包括n+条带。

16.根据权利要求15所述的集成电路,其中所述n+条带被硅化。

17.根据权利要求13所述的集成电路,其中所述n型掺杂区的条带包括形成在n型阱的条带中的n+条带。

18.根据权利要求17所述的集成电路,其中所述n+条带被硅化。

19.根据权利要求13所述的集成电路,其中所述n型掺杂区的条带包括形成在深n型阱上方的n型阱。

20.根据权利要求13所述的集成电路,其中所述n型掺杂区的条带包括形成在n型阱的条带中的n+条带,以及其中所述n型阱形成在深n型阱上方。

21.根据权利要求20所述的集成电路,其中所述n+条带被硅化。

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