[发明专利]蒸镀头及成膜装置

权利要求书

1.一种蒸镀头，被设置在对基板形成薄膜的蒸镀处理装置内，向基板喷射材料气体，

其具备外侧壳体、和被配置在所述外侧壳体内并导入材料气体的内侧壳体，

在所述内侧壳体形成有使材料气体向基板喷射的开口部，

在所述外侧壳体的外面或者所述外侧壳体与所述内侧壳体之间配置有对材料气体进行加热的加热器。

2.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

所述加热器被固定在板部件上，该板部件被配置在所述外侧壳体与所述内侧壳体之间。

3.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

所述加热器在所述外侧壳体或者所述内侧壳体的侧面沿周边部配置。

4.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

所述加热器为铠装加热器或者筒式加热器。

5.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

在所述外侧壳体和所述内侧壳体的至少一方形成有使所述外侧壳体内面与所述内侧壳体外面局部地接触的间隔部件。

6.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

在所述外侧壳体与所述内侧壳体之间形成密闭空间，

所述加热器被设置在所述密闭空间内，

在所述密闭空间中密封有挥发性液体。

7.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

所述外侧壳体的热传导与所述内侧壳体的热传导相同或者比所述内侧壳体的热传导高。

8.根据权利要求5所述的蒸镀头，其特征在于，

所述间隔部件形成于所述外侧壳体以及所述内侧壳体的一方或者两方，

被形成在所述外侧壳体的所述间隔部件与被形成在所述内侧壳体的所述间隔部件由不同部件构成。

9.根据权利要求5所述的蒸镀头，其特征在于，

所述间隔部件为通过冲压成形而形成的多个突起部或者充填材料。

10.根据权利要求9所述的蒸镀头，其特征在于，

所述冲压成形为压花加工或者焊接加工。

11.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

所述外侧壳体的材质为不锈钢或者铜。

12.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

所述内侧壳体的材质为不锈钢。

13.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

所述内侧壳体的至少一部分的板厚为3mm以下。

14.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

在所述内侧壳体的内部具有气体分散板。

15.根据权利要求14所述的蒸镀头，其特征在于，

所述气体分散板为网状的隔板或者带孔金属。

16.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

对所述内侧壳体以及所述外侧壳体的一方或者两方形成热传导性被覆膜，

17.根据权利要求16所述的蒸镀头，其特征在于，

所述热传导性被覆膜至少被形成在所述内侧壳体的外面。

18.根据权利要求1所述的蒸镀头，其特征在于，

在所述开口部设置有使材料气体均匀喷射的喷射板。

19.根据权利要求18所述的蒸镀头，其特征在于，

对所述喷射板设置有喷射材料气体的缝隙。

20.根据权利要求18所述的蒸镀头，其特征在于，

对所述喷射板设置有喷射材料气体的喷射孔。

21.根据权利要求18所述的蒸镀头，其特征在于，

所述喷射板为不锈钢板、不锈钢块、铜板或者铜块。

22.一种蒸镀处理装置，用于对基板形成有机薄膜，具有：

处理容器，其收纳基板；和

开口部，其在所述处理容器的内部，使材料气体向基板喷射。

23.根据权利要求22所述的蒸镀处理装置，其特征在于，

具有载气供给部，该载气供给部供给用于输送材料气体的载气。

24.根据权利要求22所述的蒸镀处理装置，其特征在于，

所述处理容器的内部被减压。