[发明专利]彩色滤光片生产线、生产线控制系统、生产线控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于制造在液晶显示装置等中所使用的彩色滤光片的彩色滤光片生产线、用于控制该生产线的生产线控制系统及生产线控制方法。

背景技术

作为在液晶显示装置中所使用的彩色滤光片的制造方法，一般利用光刻法在玻璃基板上形成多种颜色的着色图案的方法。例如，在制造设置有黑色矩阵(黑)、以及红、绿、蓝共4种颜色的着色图案的彩色滤光片时，对黑、红、绿、蓝各种颜色重复进行一连串的着色图案形成处理，其包含基板的清洗、对基板上涂敷着色材料、使用光罩的曝光、显像、后烘烤各个制造工序。并且，在制造设置有黑色矩阵(黑)、以及红、绿、蓝、黄共5种颜色的着色图案的彩色滤光片时，对黑、红、绿、蓝、黄各种颜色重复上述着色图案形成处理。

图10为表示现有的彩色滤光片生产线的示意图，图11为表示图10所示的彩色滤光片生产线的一部分的方块图。

为了进行上述各种颜色的着色图案形成处理，在图10所示的现有的彩色滤光片生产线，串联地设置用于形成黑、红、绿、蓝这4种颜色的着色图案的4条处理生产线92a～92d。

处理生产线92a例如为用于产生黑色矩阵的图案，具备搬入由存储装置91所提供的基板的搬入装置LD、清洗装置93、涂敷装置94、曝光装置95、显像装置96、烘烤装置97及将基板搬出到存储装置91的搬出装置ULD。这些各装置之间由搬运基板的搬运装置81～86连接。并且，在涂敷装置94的下游设置检查膜厚或涂敷不均的线上检查装置98，而在显像装置96的下游设置检查所形成的图案的线上检查装置99。并且，在搬运装置6上连接有用于进行基板的抽取检查的抽取检查装置70和修补基板的修补装置71。

在存储装置91的内部，基板以收纳于料匣(cassette)的状态被存储。搬入装置LD从自存储装置91所收到的料匣取出基板，并提供给搬运装置81。所提供的基板由搬运装置81向清洗装置93搬运、清洗后，由搬运装置82向涂敷装置94搬运，由涂敷装置94涂敷包含有黑色的着色材料的光阻剂。被涂敷光阻剂的基板，由检查装置98检查后，由搬运装置83搬运到曝光装置95，由曝光装置95使用光罩进行曝光处理。曝光后的基板由搬运装置84向显像装置96搬运并进行显像后，在由搬运装置85所进行的搬运过程中由检查装置99检查。对检查无异常的基板，由烘烤装置97进行后烘烤处理，由搬运装置86向搬出装置ULD搬运。搬出装置ULD将所收到的基板收纳于料匣，并将该料匣搬出到存储装置91。

虽然各装置在某种程度下遵守周期进行动作，但是由于装置的故障或异常处理所引起的处理时间的增加等，有时会在生产线内发生基板滞留的现象。因此，在预先被预测滞留的位置的搬运装置设置用于暂时存储滞留基板的缓冲装置(未图示)。缓冲装置一般具有多段棚架结构，并具备有根据由控制装置所进行的控制，存储多个基板，并且向搬运路径上排出所存储的基板的功能。通过将缓冲装置适当地配置于生产线内，可缓冲基板的滞留，并提高各处理装置的运行效率。

并且，其它的处理生产线92b～92d也由和处理生产线92a所包含的一样的处理装置、搬运装置及检查装置所构成。

已利用处理生产线92a产生黑色矩阵图案的基板，在被收纳于料匣的状态下，被提供到下游的处理生产线92b，利用处理生产线92b形成红色的着色图案。以后，同样经由处理生产线92c及92d的处理，在基板上形成4种颜色的着色图案。

【专利文献1】日本特开2004-109968号公报

【专利文献2】日本特开2008-108878号公报

【专利文献3】日本特开2004-103947号公报

发明内容

在上述现有的彩色滤光片生产线，由于需要所形成的着色图案的颜色数量的处理生产线，因此存在有生产线的设置所需的空间变大的问题。近年来，由于玻璃基板的尺寸大型化，因此上述制造线的设置所需的空间也随着基板尺寸的大型化而增大，从而导致制造设备所需的成本增加。

并且，在该彩色滤光片生产线，构成处理生产线的各处理装置(清洗、涂敷、曝光、显像及烘烤的各装置)及检查装置、以及连接这些装置的搬运装置需要与着色图案的色数相应的台数。因此，所需的装置台数变多也同时导致了制造设备所需的成本增多。

除了这种问题以外，在设置缓冲装置时，也有如下问题。

在具备有缓冲装置的彩色滤光片生产线中，有可能产生长期存储在缓冲装置的基板、或缓冲装置收纳不下而滞留在搬运路径上的基板。但是，从着色图案的形成开始到结束为止的处理时间变长会有损于质量。