[发明专利]彩色滤光片生产线、生产线控制系统、生产线控制方法

权利要求书

1.一种彩色滤光片生产线，其在基板上依序形成至少4种颜色的着色图案，其特征在于：

该彩色滤光片生产线具备：

存储基板的存储装置，

着色图案形成生产线，包含：多台处理装置，为了进行光刻法的各个制造工序的处理而并列地设置；及多台搬运装置，连接该处理装置之间，并根据在基板上所形成的着色图案，向既定的处理装置搬运基板；而在光刻法的各个制造工序，在形成两种颜色的着色图案时共用处理装置中的至少一台，

搬入装置，将由该存储装置所提供的基板搬入该着色图案形成生产线，以及

搬出装置，将从该着色图案形成生产线所排出的基板搬出到该存储装置；

该着色图案形成生产线使基板重复循环到在基板上形成所需的着色图案为止，并向该搬出装置排出已形成所需的着色图案的基板。

2.根据权利要求1所述的彩色滤光片生产线，其特征在于：

还具备有缓冲装置，暂时存储在该着色图案形成生产线内循环的基板；

该着色图案形成生产线通过向该缓冲装置存储基板及从该缓冲装置排出基板，而对在形成该两种颜色的着色图案时所共用的处理装置交替地提供应形成该两种颜色中的一种颜色的着色图案的基板和应形成该两种颜色中的另一种颜色的着色图案的基板。

3.一种生产线控制系统，其控制彩色滤光片生产线，而该彩色滤光片生产线包含：多台处理装置、连接该处理装置的多台搬运装置以及暂时存储多个基板的缓冲装置，并在形成多种颜色的着色图案时共用该处理装置及该搬运装置，其特征在于：

该生产线控制系统具备：

监视信息取得部，取得监视信息，该监视信息表示该处理装置、该搬运装置及该缓冲装置各自的运行状况；

动作控制部，控制该处理装置、该搬运装置以及该缓冲装置的动作；以及

监视部，根据由该监视信息取得部所通知的监视信息，监视监视对象装置的运行状况，并对该动作控制部进行指示：停止从位于监视对象装置的上游侧的至少一台装置排出基板及解除停止。

4.根据权利要求3所述的生产线控制系统，其特征在于：

该监视信息包含有表示在各个装置内的基板位置的基板位置信息；

该监视部根据所通知的基板位置信息计算监视对象装置内的基板的滞留时间，并在判定所算出的滞留时间成为既定的临限值以上的情况下指示该停止排出，在从该停止排出的指示经过既定时间后指示该解除停止。

5.根据权利要求3所述的生产线控制系统，其特征在于：

该监视信息包含有表示该缓冲装置的空段数的空段数信息；

该监视部根据所通知的空段数信息，在应监视的缓冲装置的空段数成为既定的下限值以下的情况下指示该停止排出，而在空段数超过既定的上限值的情况下指示该解除停止。

6.根据权利要求3所述的生产线控制系统，其特征在于：

该监视信息包含有表示在各个装置内的基板位置的基板位置信息；

该监视部将从在该彩色滤光片生产线内所预先规定的多个位置所选择的多个位置的组合定义为监视区，并根据所通知的基板位置信息算出该监视区内的基板个数，在所算出的基板个数成为既定的上限值以上的情况下指示该停止排出，而在所算出的基板个数成为未满既定的下限值的情况下指示该解除停止。

7.根据权利要求3所述的生产线控制系统，其特征在于：

该监视信息包含有缓冲装置内滞留时间信息，其表示缓冲装置内所存储的各个基板的缓冲装置内滞留时间；

该监视部根据所通知的缓冲装置内滞留时间信息，在应监视的缓冲装置内的基板的滞留时间成为既定的上限值以上的情况下指示该停止排出，而在由应监视的缓冲装置及其上游侧的多个位置所规定的区内的基板个数成为既定的临限值以下的情况下指示该解除停止。

8.根据权利要求3所述的生产线控制系统，其特征在于：

该监视信息包含有表示各个装置是否是正常运行中的正常运行信息；

该监视部根据所通知的正常运行信息，在监视对象装置的运行状态从正常变成异常的情况下指示该停止排出，而在该运行状态从异常恢复正常的情况下指示该解除停止。

9.根据权利要求3到8中任意一项所述的生产线控制系统，其特征在于：

该监视部在指示该停止排出的情况下，进一步对监视对象装置上游侧的缓冲装置指示存储应由监视对象装置处理的基板。