[实用新型]一种偏置平板的调整装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学系统中的调整装置，尤其涉及光刻系统中用于调焦调平的偏置平板的调整装置。

背景技术

随着半导体工艺日益趋于精密化和生产力要求的不断提高，半导体制造设备的精密性不断提升，相应的，对产品的检测仪器的精密性要求也不断提高。在投影光刻系统中，为了对硅片的表面进行高精度的检测，需要调焦调平系统测量硅片上表面的高度与倾斜信息。

在调焦调平系统的测量过程中，当投影物镜焦面发生漂移后，若不对其焦面位置进行校正补偿，会使调焦调平的测量点中心与投影物镜曝光视场不重合，引起测量误差。这种情况下为了校正补偿，采用在光路中加一个偏置平板，并通过对片偏置平板旋转角度的调整来实现对焦面位置漂移的校正和补偿。目前所常用的两种结构如图1和图2所示：

如图1所示，旋转电机2直接带动偏置平板1旋转。该调整装置的不足之处在于，由于偏置平板是直接由旋转电机带动做旋转运动，此种方式直接导致目前的一般电机无法满足调整偏置平板所需的旋转精度。

如图2所示，偏置平板1与杠杆3连接，杠杆的一端架设在凸轮4顶端，步进电机(未图示)驱动凸轮4绕轴40旋转来带动杠杆3移动。由于凸轮轴40到凸轮4边缘的距离是变化的，因此，当凸轮4绕轴40旋转180°时，杠杆3及偏置平板1的位置从图2中的实线位置移动到虚线位置，从而达到利用凸轮4的旋转控制偏置平板1的旋转角的目的。此调整装置的不足之处在于凸轮加工复杂，制造成本过高。

实用新型内容

本实用新型所解决的问题是传统偏置平板的调整装置存在的调节精度低以及加工复杂制作成本过高的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种偏置平板的调整装置，包括杠杆和驱动装置，所述杠杆具有一支点，所述偏置平板固定在杠杆上，所述杠杆的一端与所述驱动装置活动连接，其中，所述驱动装置包括电机及具有一斜切面的柱体，所述杠杆的一端始终与柱体的斜切面相接触，当电机驱动柱体旋转时，所述杠杆的一端在斜切面的支撑力作用下，绕其支点作上下摆动。

可选的，所述杠杆与斜切面相接触的一端设有滚珠。

可选的，所述杠杆的支点位于所述偏置平板的中心轴上；进一步的，所述杠杆的支点与所述偏置平板的中心重合。

可选的，所述偏置平板的调整装置还包括连接至杠杆另一端的弹性件。所述弹性件为反向预紧弹簧，其上端固定，下端与所述杠杆连接。

可选的，所述柱体为楔面圆柱轮，所述电机是旋转步进电机。

可选的，所述驱动装置还包括连接电机和柱体的转动轴。

由以上公开的技术方案可知，本实用新型采用具有一斜切面的柱体代替现有技术中的凸轮，可以大大降低加工难度，节约制造成本，并且当柱体旋转时，对空间上相应的接触点(即杠杆的一端)有高低起伏的作用，从而达到推动杠杆的目的，同时，杠杆上下摆动的高度范围和柱体的旋转角度呈线性关系，从而降低了对旋转电机的精度要求，实现偏置平板的高精度调节。

附图说明

图1为一种传统的偏置平板调整装置的示意图；

图2为另一种传统的偏置平板调整装置的示意图；

图3为本实用新型一具体实施例的偏置平板的调整装置的示意图；

图4为图3中的驱动装置控制杠杆摆动的原理示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的技术特征更明显易懂，下面结合附图，对本实用新型的调整装置做进一步的描述。

本实用新型的偏置平板的调整装置，如图3所示，包括杠杆3和驱动装置5。杠杆3具有一支点O，使得杠杆3可以绕其支点O作摆动，偏置平板1固定在杠杆3上，且偏置平板1在杠杆3的带动下可产生α角度的偏转，通过调整偏置平板1的旋转角度α可实现对焦面位置漂移的校正和补偿。为了使偏置平板1的中心位置在调整过程中保持不变，以避免引入不必要的位置误差，杠杆3的支点O被设置在偏置平板1的中心轴10上，具体的，于本实施例中，杠杆3的支点O与偏置平板1的中心重合。