[实用新型]一种偏置平板的调整装置有效
申请号: | 201029098015.0 | 申请日: | 2010-02-05 |
公开(公告)号: | CN201611424U | 公开(公告)日: | 2010-10-20 |
发明(设计)人: | 贾翔;李中秋;严兵;陈跃飞;卢丽荣 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 偏置 平板 调整 装置 | ||
1.一种偏置平板的调整装置,包括杠杆和驱动装置,所述杠杆具有一支点,所述偏置平板固定在杠杆上,所述杠杆的一端与所述驱动装置活动连接,其特征在于:所述驱动装置包括电机及具有一斜切面的柱体,所述杠杆的一端始终与柱体的斜切面相接触,当电机驱动柱体旋转时,所述杠杆的一端在斜切面的支撑力作用下,绕其支点作上下摆动。
2.如权利要求1所述的偏置平板的调整装置,其特征在于:所述杠杆与斜切面相接触的一端设有滚珠。
3.如权利要求1所述的偏置平板的调整装置,其特征在于:所述杠杆的支点位于所述偏置平板的中心轴上。
4.如权利要求2所述的偏置平板的调整装置,其特征在于:所述杠杆的支点与所述偏置平板的中心重合。
5.如权利要求1所述的偏置平板的调整装置,其特征在于:还包括连接至杠杆另一端的弹性件。
6.如权利要求5所述的偏置平板的调整装置,其特征在于:所述弹性件为反向预紧弹簧,其上端固定,下端与所述杠杆连接。
7.如权利要求1所述的偏置平板的调整装置,其特征在于:所述柱体为楔面圆柱轮。
8.如权利要求1所述的偏置平板的调整装置,其特征在于:所述电机是旋转步进电机。
9.如权利要求1或7或8所述的偏置平板的调整装置,其特征在于:所述驱动装置还包括连接电机和柱体的转动轴。
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