[实用新型]辉光放电离子源装置用供气系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种供气系统，尤指一种用于辉光放电离子源装置的供气系统。

背景技术

中国实用新型专利“一种辉光放电离子源装置”(授权公告号为CN201590398U，申请号为200920246956.4，申请日为2009年11月10日)中公开的辉光放电离子源装置属于低气压气体放电，放电区处于非热平衡状态，靠高能电子碰撞、亚稳态Ar粒子的潘宁(Penning)碰撞电离，其激发能量高、电离度高，周期表上的绝大多数元素均能被其电离，其是质谱系统的一种很好的离子源。而且，该辉光放电离子源装置涉及的辉光放电离子源质谱(GDMS)分析技术具有分析灵敏度高、检测限制低、分析准确度好、测定的动态范围宽、可多元素快速分析、对各种元素的响应较均一、可采用相对灵敏度因子(RSF)校正、可实现少标样或无标样分析等优点，是目前对固体导电材料进行痕量及超痕量元素分析中最有效的分析技术之一。

该辉光放电离子源装置正常、稳定工作的基本条件是：辉光放电离子源装置内必须充有一定压力的载气(一般为氩气)，载气的压力应可按需要进行调节，并在整个工作过程中保持稳定；辉光放电过程中所产生的各类物粒会使载气的纯度变坏而破坏辉光放电的稳定性，因此，载气在整个工作过程中应能不断得到纯化。另外，辉光放电离子源装置是一种开放式的结构，分析样品要作为密封离子源装置的一个部件，因此，在更换分析样品时，需充入一个大气压的空气，但是，当在实验环境很差的条件下通过充入空气来更换分析样品时，充入空气的同时，蒸汽、水分或杂质等会进入辉光放电离子源装置并吸附在其内，污染辉光放电离子源装置，因而，在实验环境差的条件下更换分析样品时，应该用载气来替代空气。

由此可见，辉光放电离子源装置所需的供气系统应具备如下功能：抽去辉光放电离子源装置中的气体、更换分析样品时充入空气或载气、充入所需压力的载气并保持载气的压力稳定、辉光放电离子源装置中的载气可不断被更新来保持纯度。因此，设计出一种具有上述功能的供气系统是目前应解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种辉光放电离子源装置用供气系统，该供气系统很好地满足了辉光放电离子源装置对载气压力、纯度等方面的要求。

为了实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

一种辉光放电离子源装置用供气系统，其特征在于：它包括一个稳压阀、一个微调阀、一个进气阀门、两个真空泵，其中：载气源的输出口经由该稳压阀、微调阀、进气阀门与辉光放电离子源装置的进气口连接，该进气口经由一个充空气阀门与外部大气连通，两个该真空泵分别经由一个抽气阀门与该辉光放电离子源装置上相应的抽气口连接。

本实用新型的优点是：在辉光放电过程中，本实用新型供气系统可使辉光放电离子源装置内的载气压力处于动态平衡状态，且使辉光放电离子源装置中的载气可被不断更新，保持辉光放电过程中离子源装置内载气的纯度，提高了辉光放电的稳定性。在很差的实验环境下更换分析样品时，可通过本实用新型供气系统向离子源装置内充入载气(通常为氩气)，从而在载气氛围下更换分析样品，避免外部空气中的蒸汽、水分或杂质等进入离子源装置而对离子源装置造成污染。

附图说明

图1是本实用新型供气系统的组成示意图。

具体实施方式

本实用新型供气系统是专为辉光放电离子源装置设计的，有关辉光放电离子源装置的详细情况可参阅授权公告号为CN201590398U的中国实用新型专利“一种辉光放电离子源装置”中的描述，在这里不再加以赘述。

如图1所示，本实用新型辉光放电离子源装置用供气系统包括一个稳压阀2、一个微调阀4、一个进气阀门7、两个真空泵14、15，其中：载气源1的输出口经由该稳压阀2、微调阀4、进气阀门7与辉光放电离子源装置16的进气口连接，该进气口经由一个充空气阀门11与外部大气连通，两个该真空泵分别经由一个抽气阀门与该辉光放电离子源装置16上相应的抽气口连接，即真空泵14经由抽气阀门8与辉光放电离子源装置16上的一个抽气口连接而真空泵15经由抽气阀门9与辉光放电离子源装置16上的另一个抽气口连接。