[实用新型]辉光放电离子源装置用供气系统

权利要求书

1.一种辉光放电离子源装置用供气系统，其特征在于：它包括一个稳压阀、一个微调阀、一个进气阀门、两个真空泵，其中：

载气源的输出口经由该稳压阀、微调阀、进气阀门与辉光放电离子源装置的进气口连接，该进气口经由一个充空气阀门与外部大气连通，两个该真空泵分别经由一个抽气阀门与该辉光放电离子源装置上相应的抽气口连接。

2.如权利要求1所述的供气系统，其特征在于：

一个所述抽气阀门的输入口与位于所述辉光放电离子源装置的空心腔室端部的抽气口连接，另一个所述抽气阀门的输入口经由辉光放电离子源质谱接口装置与位于所述辉光放电离子源装置的空心腔室中部的抽气口连接。

3.如权利要求2所述的供气系统，其特征在于：

所述载气源的输出口与所述充空气阀门的输出口之间连接一个充载气阀门。

4.如权利要求3所述的供气系统，其特征在于：

所述进气阀门、充空气阀门、充载气阀门、抽气阀门为电磁阀，所述进气阀门、充空气阀门、充载气阀门、抽气阀门的控制端分别与控制系统上相应的控制端连接。

5.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，其特征在于：

每个所述真空泵的输入口连接一个泵阀。

6.如权利要求5所述的供气系统，其特征在于：

所述泵阀为电磁阀。

7.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，其特征在于：

所述辉光放电离子源装置上的进气口处设置皮拉尼规管和压力真空计。

8.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，其特征在于：

所述微调阀为针形微调阀。

9.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，其特征在于：

所述稳压阀的输出口处设置压力表。