[实用新型]一种静电保护结构无效
| 申请号: | 201020688145.2 | 申请日: | 2010-12-30 |
| 公开(公告)号: | CN201994299U | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
| 发明(设计)人: | 杭晓伟;彭秋平;贾力;张祯 | 申请(专利权)人: | 苏州华芯微电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L29/78;H01L29/06 |
| 代理公司: | 北京华夏博通专利事务所 11264 | 代理人: | 孙东风 |
| 地址: | 215011 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 静电 保护 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及集成电路,尤其涉及芯片的静电保护结构,具体适用于节省芯片面积。
背景技术
随着集成电路日新月异的快速发展,如何控制成本问题也摆上了桌面,对设计者来说,对芯片面积的控制是最优先和最有效的办法。而人们对芯片的要求越来越高。在芯片的应用过程中,人们希望芯片不仅功能正确无误,更是提高了对芯片性能上的要求。
静电放电(ESD,Electrostatic Discharge)是造成电子元件或电子系统受到过度电应力(Electrical Over Stress,EOS)破坏的主要因素。在静电保护的各种手段中,最主要也是最有效的方式就是将静电保护电路结构集成到芯片上。由于该结构在ESD时需要承受很大的电流,所以一般都会占用较大比例的芯片面积,导致芯片成本的增加。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:提供一种静电保护结构,能够节省芯片面积。
本实用新型为解决上述技术问题所采取的技术方案为:一种静电保护结构,其特征在于:它由NMOS管、电阻和压焊点构成;NMOS管的栅端、P型衬底和源端连接并接地,漏端与压焊点连接;电阻一端接压焊点,另一端为静电保护结构的输出端与内部电路连接;
所述的NMOS管还包括N型扩散区、多晶硅、源端衬底引出线和隔离环pick-up ring;多晶硅与N型扩散区交叠部分形成栅端;N型扩散区为P型衬底上的N阱,源端和漏端均由N阱构成,且源端和漏端成叉指状交错分布,形成多个小NMOS管并联结构;源端和漏端所在的N阱内均设有通孔,源端的通孔与源端衬底引出线连接,隔离环与源端连接;源端衬底引出线还与P型衬底连接;
所述的电阻由多晶硅构成,与压焊点连接时由多晶硅直接与压焊点连接。
按上述方案,所述的NMOS管的栅端通过另一个电阻接地。
按上述方案,所述的每个小NMOS管的源端的通孔与栅端之间距离为1μm,漏端的通孔到栅端的距离为4μm。
按上述方案,所述的电阻宽度大于等于5μm,阻值大于200欧姆。
按上述方案,所述的隔离环的宽度为5μm,与所述的NMOS管的N型扩散区边缘的距离为3μm。
本实用新型的工作原理为:NMOS管的源端和栅端短接到地,漏端接压焊点PAD,并通过一个电阻R后在接到内部电路。NMOS管的宽度至少120μm,为了在较小的面积内画这么大的尺寸的NMOS管,版图layout需要画成叉指状。把大尺寸的NMOS管分成偶数个小尺寸的NMOS并联,小尺寸的NMOS管的宽度乘以个数应该等于大尺寸的NMOS管的宽度。每个小NMOS管源端的通孔到栅端距离为1μm,漏端的通孔到栅端的距离为4μm,这样源端和漏端到栅端分别有一段电阻,以作为限流。漏端的通孔设置在N阱nwell里的,增加了深度。电阻接PAD的那端是用多晶硅poly直接接到PAD上,而不是通过金属打孔连接,这样的接法是为了避免有大电流时而把金属击穿掉,从而导致芯片的不正常。
本实用新型的有益效果为:
1、在不变工艺的条件下能有效消耗ESD事件产生的能量影响,抗ESD能力能到2000V以上(人体模型),达到工业标准;
2、省掉一个大的PMOS管,面积得到大大缩小,以致整个芯片面积能缩小,从而达到降低芯片成本和不影响芯片性能的目的。
附图说明
图1为现有技术电路图;
图2为本实用新型一实施例的电路图;
图3为本实用新型又一实施例的电路图;
图4为NMOS管版图。
具体实施方式
实施例1:
图1为现有技术电路图,通过PMOS管和NMOS管连接进行静电保护。图2为本实用新型一实施例的电路图,NMOS管的栅端、P型衬底和源端连接并接地,漏端与PAD连接;电阻一端接PAD,另一端为静电保护结构的输出端与内部电路连接。与现有技术相比,本实用新型很明显省去一个PMOS管大大减少了芯片面积。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





