[实用新型]冷凝装置以及酸槽系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺，尤其涉及一种冷凝装置以及包含所述冷凝装置的酸槽系统。

背景技术

在对晶圆表面进行湿法刻蚀工艺时，需要用到酸槽，将晶圆放入盛有刻蚀液的酸槽中浸没一段特定的时间，酸槽可加热到需要的温度。在利用酸槽进行湿法刻蚀时，根据刻蚀工艺的不同要求需要使用各种化学溶液，有些化学溶液具有很大的挥发性，特别当酸槽加热到较高的温度时，酸槽环境中酸雾很大，对工艺条件造成影响，并且容易腐蚀其它部件。

为了解决由酸槽内的溶液产生酸雾的影响，需要将酸雾排到酸槽环境外。图1为现有的酸雾系统结构示意图。参照图1，在酸槽11上端设有抽风罩12，抽风罩12的一端对准酸槽11，抽风罩12的另一端连接有风管13的一端，酸雾17从风管13的另一端排出，从抽风罩12的一端到风管13的另一端形成通风管路14，在风管13的另一端端口处设置有风机15，所述风机15用来产生负压将酸雾17抽离酸槽设备。然而在酸雾17抽离过程中温度较高的酸雾17遇到冷的风管13，会在风管13内壁冷凝成液滴而逐渐积累起酸液16，最后酸液16聚集到风管13的弯角和较低位置处。随着酸液16的不断增多，会使有酸液16聚集的通风管路14处的风压变小，进而导致酸雾17不能及时从风管13的另一端排出，延长了酸雾17在风管13中存留的时间，最终导致酸雾17不能及时排出，对工艺条件产生不良影响，并会腐蚀酸槽设备的部件。

为了解决上述风压变小所导致的酸雾17不能及时排出的问题，目前，业界尝试在风管13弯角或较低位置处安装排酸管，将冷凝后积累的酸液通过排酸管排出，使通风管路14的风压有所恢复，例如，使风压由最初的酸液积累时的40KP提高到120KP，甚至超过120KP，而由于风压的恢复，又使得酸液在风管13的弯角或较低位置处积累的几率变小。然而对于整个酸雾系统而言在风管13的弯角或较低位置处安装排酸管仅仅只能恢复风管13的抽排能力，却不能增强风管13的抽排能力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种冷凝装置以及使用冷凝装置的酸槽系统，以解决如何增强风管抽排能力的问题。

为解决上述问题，本实用新型提出了一种冷凝装置，固定在风管的外壁，所述冷凝装置包括：内层套管和外层套管，所述内层套管紧贴所述风管的外壁，所述外层套管套设在所述内层套管外，所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质。

优选地，在所述冷凝装置中，所述冷凝装置还包括进管和出管，所述进管与外层套管的一端连接，所述出管与外层套管的另一端连接。

优选地，在所述冷凝装置中，所述内层套管和外层套管均呈螺旋状。

优选地，在所述冷凝装置中，所述内层套管和外层套管均呈“U”形。

优选地，在所述冷凝装置中，所述制冷物质是水或冷空气。

本实用新型还提出了一种使用冷凝装置的酸槽系统，包括酸槽、抽风罩、风管以及冷凝装置，所述抽风罩的一端对准酸槽，所述抽风罩的另一端与所述风管连接，所述冷凝装置包括：内层套管和外层套管，所述内层套管紧贴所述风管的外壁，所述外层套管套设在所述内层套管外，所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质。

优选地，在所述使用冷凝装置的酸槽系统中，所述酸槽系统还包括与所述风管连接的排液管道。

优选地，在所述使用冷凝装置的酸槽系统中，所述酸槽系统还包括设置在所述排液管道上的排液阀。

优选地，在所述使用冷凝装置的酸槽系统中，所述酸槽系统还包括与所述风管连接的风机。

与现有技术相比，本实用新型提供的冷凝装置包括内层套管和外层套管，通过所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质，降低风管壁的温度，依靠冷凝装置中的制冷物质控制风管壁的温度，进一步控制风管通路内的环境温度。本实用新型提供的酸槽系统，在酸雾通过风管时就将酸雾中的水蒸气最大限度地与酸气进行分离，以酸液的形式从排液管道排出，避免酸雾在风管中凝结，大大增强风管抽排酸雾能力的问题。

附图说明

图1为现有的酸雾系统结构示意图；

图2为本实用新型实施例的冷凝装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例的酸槽系统的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的冷凝装置以及使用冷凝装置的酸槽系统作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。