[实用新型]冷凝装置以及酸槽系统有效
| 申请号： | 201020679276.4 | 申请日： | 2010-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN201959582U | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 彭利;肖方 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷凝 装置 以及 系统 | ||
1.一种冷凝装置，固定在风管的外壁，其特征在于，所述冷凝装置包括：内层套管和外层套管，所述内层套管紧贴所述风管的外壁，所述外层套管套设在所述内层套管外，所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质。
2.如权利要求1所述的冷凝装置，其特征在于，所述冷凝装置还包括进管和出管，所述进管与外层套管的一端连接，所述出管与外层套管的另一端连接。
3.如权利要求1所述的冷凝装置，其特征在于，所述内层套管和外层套管均呈螺旋状。
4.如权利要求1所述的冷凝装置，其特征在于，所述内层套管和外层套管均呈“U”形。
5.如权利要求1至4中任一项所述的冷凝装置，其特征在于，所述制冷物质是水或冷空气。
6.一种酸槽系统，包括酸槽、抽风罩、风管以及冷凝装置，所述抽风罩的一端对准酸槽，所述抽风罩的另一端与所述风管连接，其特征在于，所述冷凝装置包括：内层套管和外层套管，所述内层套管紧贴所述风管的外壁，所述外层套管套设在所述内层套管外，所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质。
7.如权利要求6所述的酸槽系统，其特征在于，所述酸槽系统还包括与所述风管连接的排液管道。
8.如权利要求7所述的酸槽系统，其特征在于，所述酸槽系统还包括设置在所述排液管道上的排液阀。
9.如权利要求6所述的酸槽系统，其特征在于，所述酸槽系统还包括与所述风管连接的风机。
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