[实用新型]用于化学气相沉积设备的连接管道

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积设备的连接管道，所述化学气相沉积设备包括：反应腔室和真空泵；

其特征在于，所述连接管道包括：与所述反应腔室连接的第一管道；

与所述真空泵连接的第二管道；

连接所述第一管道和第二管道的连接盒；

所述第一管道包括位于所述连接盒内的第一弯形管道，所述第一弯形管道具有第一自由口；

所述第二管道包括位于所述连接盒内的第二弯形管道，所述第二弯形管道具有第二自由口；

所述第一自由口与所述第二自由口相背。

2.如权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的连接管道，其特征在于，所述第一弯形管道与所述第二弯形管道呈中心对称设置。

3.如权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的连接管道，其特征在于，所述第一管道包括位于所述连接盒外的第一竖直管道，所述第一竖直管道与所述第一弯形管道连通，所述第一竖直管道具有与所述反应腔室连接的第一连接口。

4.如权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的连接管道，其特征在于，所述第二管道包括位于所述连接盒外的第二竖直管道，所述第二竖直管道与所述第二弯形管道连通，所述第二竖直管道具有与所述真空泵连接的第二连接口。

5.如权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的连接管道，其特征在于，所述连接管道还包括用于承载杂质的抽屉，所述抽屉设置于所述连接盒内靠近第二弯形管道的墙上。

6.如权利要求5所述的用于化学气相沉积设备的连接管道，其特征在于，所述抽屉的数量为两个，两个所述抽屉分别位于所述第二弯形管道的两侧。

7.如权利要求5所述的用于化学气相沉积设备的连接管道，其特征在于，所述抽屉的数量为一个。

8.如权利要求1至7中的任一项所述的用于化学气相沉积设备的连接管道，其特征在于，所述连接管道还包括可通入冷却水的水管，所述水管设置于所述连接盒的墙内。

9.如权利要求8所述的用于化学气相沉积设备的连接管道，其特征在于，所述水管设置于第一自由口所对着的所述连接盒的墙内。