[实用新型]一种硅块厚度测量装置有效
| 申请号: | 201020673732.4 | 申请日: | 2010-12-22 |
| 公开(公告)号: | CN201964876U | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
| 发明(设计)人: | 杨建良 | 申请(专利权)人: | 无锡上机数控股份有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
| 代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人: | 顾吉云 |
| 地址: | 214128 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 厚度 测量 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及精密仪器检测的技术领域,具体为一种硅块厚度测量装置。
背景技术
光伏行业是一个新兴的行业,随着光伏行业在这几年的快速发展,对单、多晶硅块的加工精度要求相当高。要想知道加工精度有没有达标就需要精密的检测设备。国内、外尚无这样专用的检测设备。由于没有专用的检测设备对单、多晶硅块的加工精度进行检测,很可能把加工精度不合格的半成品进行到下一道工序,造成更大的损失和浪费,成品质量得不到保障。
发明内容
针对上述问题,本实用新型提供了一种硅块厚度测量装置,其操作简便,测量精确度高,可作检验和测量之用,为下道工序提供方便,提高硅块切片成品率。
其技术方案是这样的:一种硅块厚度测量装置,其特征在于:包括底座、立柱、操纵箱、所述立柱安装于所述底座的一端,所述立柱上安装有激光测量头,所述操纵箱与所述激光测量头之间电控连接。
其进一步特征在于:所述立柱上有一空腔,所述激光测量头安装在所述空腔内;所述底座上通过直线导轨安装有下滑台,所述下滑台上通过直线导轨安装有上滑台,所述上滑台覆盖有尼龙板;所述操纵箱安装在所述立柱的顶部,所述操纵箱内装有触摸式显示屏,所述触摸式显示屏与所述激光测量头之间电控连接。
本实用新型的上述结构中,由于采用激光测量头,提高了检验测量的精确度;上滑台、下滑台和底座分别采用滚动直线导轨,灵敏度好,刚性高,抗震性能好,进一步保证测量的可靠性;激光测量头可以对硅块上表面任意点测量,并采集数据,自动计算出硅块厚度最大测量值、最小测量值及测量平均值,来确认加工精度是否合格,为下道工序提供方便,缩短加工辅助时间,提高硅块切片成品率。
附图说明
图1为本实用新型硅块厚度测量装置的主视结构示意图;
图2为本实用新型硅块厚度测量装置的左视结构示意图。
具体实施方式
见图1、图2,本实用新型包括底座1、立柱8、操纵箱10、立柱8安装于底座1的一端,立柱8上有一空腔12,立柱8上的空腔12内安装有激光测量头9。操纵箱10与激光测量头9之间电控连接,底座1上通过直线导轨3安装有下滑台2,下滑台2上通过直线导轨5安装有上滑台4,上滑台4覆盖有尼龙板6(保护硅块在上下料时不被金属件碰坏);操纵箱安装在立柱8的顶部,操纵箱内装有一触摸式显示屏11,触摸式显示屏11与激光测量头9电控连接。上滑台4通过直线导轨5安装在下滑台2上,下滑台2通过直线导轨3安装在底座1上(以上结构简称十字滑台),上滑台4通过直线导轨5、下滑台2和直线导轨3分别在X轴与Z轴上运动,滑台移动,带动硅块7移动,激光测量头9通过反射的原理可以对硅块表面任意点进行测量,并采集数据,自动计算出硅块厚度最大测量值、最小测量值及测量平均值,来确认加工精度是否合格,为下道工序提供方便,缩短加工辅助时间,提高硅块切片成品率(激光测量头9的内部结构属市场已有技术)。
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