[实用新型]一种用于镀膜基片的镀膜夹具有效
| 申请号： | 201020643071.0 | 申请日： | 2010-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN201952490U | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 毛利萍;董显林;王根水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 许亦琳;余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 镀膜 夹具 | ||
1.一种用于镀膜基片的镀膜夹具，其特征在于，包括一上板(5)、一下板(6)以及一个或多个保护帽(7)；所述上板(5)上设有一个或多个定位孔(51)，所述下板(6)上设有一个或多个与所述上板定位孔(51)相对应的定位保护孔(61)，每个定位孔(51)和对应的定位保护孔(61)与一个对应的保护帽(7)相配合。
2.如权利要求1所述的镀膜夹具，其特征在于：所述定位保护孔(61)由上下两个直径不等且中心轴重合的圆形通孔(611、612)连接组成，较大通孔(611)的直径与镀膜基片(8)的外径相等或略大，厚度与镀膜基片(8)的厚度相等；较小通孔(612)的直径略小于镀膜基片(8)的外径。
3.如权利要求1所述的镀膜夹具，其特征在于：所述保护帽(7)由两个直径不等且中心轴重合的圆柱体(71、72)连接组成，一圆柱体(71)的直径略大于所述基片(8)的内径，另一圆柱体(72)的直径小于所述基片(8)的内径，且与所述上板定位孔(51)内径相等，长度长于定位保护孔中较大通孔(611)的厚度且不长于较大通孔与上板的总厚度。
4.如权利要求1所述的镀膜夹具，其特征在于：所述定位孔(51)为圆柱形通孔。
5.如权利要求1-4任一所述的镀膜夹具，其特征在于：所述保护帽(7)与上板(5)间通过螺纹连接或磁吸连接。
6.如权利要求1-4任一所述的镀膜夹具，其特征在于，所述上板(5)和下板(6)间通过螺钉、锁合或卡固连接方式组装固定为一体。
7.如权利要求5所述的镀膜夹具，其特征在于：所述上板(5)和下板(6)间通过螺钉、锁合或卡固连接方式组装固定为一体。
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