[实用新型]一种用于转移硅片的工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池的制作工具，尤其涉及一种用于转移硅片的工具。

背景技术

太阳能电池是一种将光能直接转化为电能的器件，其基本原理是利用PN结的光生伏特效应将光能转化成电能，由于其清洁、无污染，取之不尽，用之不竭，逐渐成为一种重要的发电方式，近年来备受瞩目。其中，晶体硅太阳能电池占有绝大部分的份额。

目前，在晶体硅太阳能电池的生产过程中，用于制作PN结的扩散制结工序是关键工序之一。该工序要求严格的工艺卫生，需要一种专用的工具来转移硅片，以避免人手直接接触硅片，从而保证硅片的洁净度，减少硅片表面少子复合，增强了太阳能电池转换效率的稳定性。

现有的晶体硅太阳能电池扩散工艺均采用水平卧式扩散炉，扩散炉内配有水平卧式石英舟承载硅片，生产时需要人工向石英舟槽内插入硅片。为了保证扩散环境的洁净度，在进行扩散插片作业时，人员需佩戴无尘手套进行操作，同时需要使用轻巧、方便、少污染的硅片转移工具；而硅片出炉后温度较高，又要求该工具能耐较高的温度而不变形。因此，现有的用于转移硅片的工具均采用石英材料制成。

现有的用于转移硅片的工具主要包括吸盘、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管设于吸盘和石英握管之间，中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；石英握管的顶部还设有抽真空接管。工作时，先将抽真空接管与抽真空设备（如真空泵）连接，启动抽真空，用手握持石英握管，将吸盘轻轻放在硅片边缘，吸起硅片，将硅片插于石英舟槽内，然后断开气路，即可完成硅片的转移操作。

上述工具的吸盘的表面中央是一个圆形的吸口，吸口的尾端与所述中空真空管连通。在实际应用中发现，由于吸盘表面只有一个吸口，因此吸力都集中在靠近中空真空管的吸口尾端，而在吸口的前端则吸力较小，这便造成了吸力的不均匀性，使得抽真空的力度较难控制，如果抽真空力度较小，则无法吸起硅片，而如果抽真空力度较大，则会导致硅片发生破碎，提高了生产过程的碎片率，增加了制造成本。因此，用于硅片转移的工具在设计时需要充分考虑现场的可操作性、实用性和工艺洁净度的要求。

发明内容

本实用新型目的是提供一种适于实用的用于转移硅片的工具。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于转移硅片的工具，包括吸盘、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管设于吸盘和石英握管之间，中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；石英握管的顶部还设有抽真空接管，所述吸盘的表面设有至少2个吸口，吸口的总面积占吸盘表面面积的5~30%。

上文中，所述吸口的总面积是指各个吸口的面积之和，该总面积不能太小，否则会无法吸起硅片，总面积也不能太大，否则会提高碎片率。

所述石英握管一般为普通的石英管，其管径一般大于所述中空真空管的管径，以便于握持。

本实用新型将吸盘的吸口分为多个小吸口，使其吸力更加均匀，充分考虑了硅片受力的均匀性，防止硅片发生破碎。

进一步的技术方案，所述吸口为5~20个，均布于吸盘的表面中央，吸口的总面积占吸盘表面面积的5~15%。

进一步的技术方案，所述吸口呈内外环形分布，外环设有5~20个外环吸口，外环吸口的面积为4平方毫米，内环设有5~20内环吸口，内环吸口的面积为2平方毫米。

上述技术方案中，所述内外环为同心圆环结构，其圆心设有1个面积为2平方毫米的吸口。

上述技术方案中，所述吸口为圆形吸口。当然也可以是三角形或其它不规则图形。

进一步的技术方案，所述抽真空接管的外表面设有防滑结构。该防滑结构可以是磨砂结构或凹凸结构等。防滑结构的作用是使得抽真空接管与抽真空设备（如真空泵）的软管连接时，增加摩擦力，防止两者滑脱。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

1、本实用新型在吸盘的表面设置了多个吸口，使其吸力分布更加均匀，并可以缓冲抽真空吸力，充分考虑了硅片受力的均匀性，有效减少硅片碎片率，具有现实的积极意义；

2、本实用新型在抽真空接管的外表面设置了防滑结构。可以使得抽真空接管与抽真空设备（如真空泵）的软管连接时，增加摩擦力，防止两者滑脱；