[实用新型]一种用于转移硅片的工具

权利要求书

1.一种用于转移硅片的工具，包括吸盘(1)、中空的石英握管(2)和中空真空管(3)，所述中空真空管(3)设于吸盘和石英握管之间，中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；石英握管(2)的顶部还设有抽真空接管(4)，其特征在于：所述吸盘(1)的表面设有至少2个吸口，吸口的总面积占吸盘表面面积的5~30%。

2.根据权利要求1所述的用于转移硅片的工具，其特征在于：所述吸口为5~20个，均布于吸盘的表面中央，吸口的总面积占吸盘表面面积的5~15%。

3.根据权利要求1所述的用于转移硅片的工具，其特征在于：所述吸口呈内外环形分布，外环设有5~20个外环吸口(5)，外环吸口的面积为4平方毫米，内环设有5~20内环吸口(6)，内环吸口的面积为2平方毫米。

4.根据权利要求3所述的用于转移硅片的工具，其特征在于：所述内外环为同心圆环结构，其圆心设有1个面积为2平方毫米的吸口。

5.根据权利要求1所述的用于转移硅片的工具，其特征在于：所述吸口为圆形吸口。

6.根据权利要求1所述的用于转移硅片的工具，其特征在于：所述抽真空接管的外表面设有防滑结构。