[实用新型]ST双级真空泵

权利要求书

1.ST双级真空泵，包括一泵体，在所述泵体上分别设有吸气口和排气口，所述吸气口上还设有吸气止位阀，所述吸气止位阀的上方还设有吸气过滤装置，在所述泵体的内部还设有一泵腔，其特征在于：在所述泵腔内压设有一偏心中壁，所述偏心中壁将所述泵腔一分为二，形成相互独立的高级转子腔和低级转子腔，在所述高级转子腔内设有高级转子，所述低级转子腔内设有低级转子，所述高级转子的一端穿过所述偏心中壁与所述低级转子相连，所述高级转子的另一端通过联轴器与电机相连，在所述高级转子与所述低级转子上均设有旋片槽，所述旋片槽内卡设有旋片，所述高级转子与所述低级转子通过设置在所述泵腔两端的端盖被封装在所述泵体内。

2.根据权利要求1所述的ST双级真空泵，其特征在于：所述排气口是由一排高级转子排气口和一个低级转子排气口所组成；

在所述低级转子排气口的下方还设有一低级转子吸气口，在所述排气口的外侧还设有一排气阀座；

在所述排气阀座上还设有两组高级转子排气孔和一组低级转子排气孔；

所述两组高级转子排气孔与所述一组低级转子排气孔之间相互隔开；

在所述两组高级转子排气孔与所述一组低级转子排气孔的每个排气孔上均设有排气阀。

3.根据权利要求1所述的ST双级真空泵，其特征在于：所述偏心中壁的偏心距为15-20度之间。

4.根据权利要求1所述的ST双级真空泵，其特征在于：在所述低级转子的内圈上还设有键位槽，所述键位槽对应的所述高级转子上还设有限位凹槽；

所述限位凹槽与所述键位槽相卡接，使得所述高级转子上的高级旋片槽与所述低级转子上的低级旋片槽之间呈现90度夹角。

5.根据权利要求1所述的ST双级真空泵，其特征在于：所述高级旋片槽在所述高级转子上的数量为三个或三个以上；

所述高级旋片槽在所述高级转子上为倾斜设置，且中心偏角为15-20度之间；

所述低级旋片槽在所述低级转子上的数量也为三个或三个以上； 

所述低级旋片槽在所述低级转子上也为倾斜设置，且中心偏角在18-25度之间。

6.根据权利要求1所述的ST双级真空泵，其特征在于：在所述联轴器外围还设有连接架；

所述连接架的一侧与所述泵体相连，所述连接架的另一侧与所述电机相连；

在所述连接架内还设有风扇，所述连接架的外面还设有风扇罩。