[实用新型]一种石英舟无效
| 申请号： | 201020611626.3 | 申请日： | 2010-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN201868402U | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 姚琪;刘鹏;欧阳辉 | 申请（专利权）人： | 浙江贝盛光伏股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 纪元 |
| 地址： | 313008 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英舟，包括舟体，舟体下方设置有舟架，其特征在于：所述舟体包括横架和纵杆，所述纵杆固定设置于横架壁，且与横架相互垂直；所述横架下方设置有舟座，所述舟座有两个，且之间的距离小于舟架的宽度。
2.根据权利要求1所述石英舟，其特征在于：所述纵杆设置于横架的内侧壁。
3.根据权利要求1所述石英舟，其特征在于：所述纵杆设置于横架的外侧壁。
4.根据权利要求2或3所述石英舟，其特征在于：所述纵杆上开有凹槽。
5.根据权利要求4所述石英舟，其特征在于：所述凹槽有多个，相邻凹槽之间的距离为3～6MM。
6.根据权利要求1所述石英舟，其特征在于：所述凹槽的深度方向与纵杆的中心轴线之间的角度为1～6度。
7.根据权利要求1所述石英舟，其特征在于：所述纵杆长度小于1080MM。
8.根据权利要求1所述石英舟，其特征在于：所述两个舟座之间的距离为100～120MM。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
