[实用新型]一种石英舟无效

专利信息
申请号: 201020611626.3 申请日: 2010-11-18
公开(公告)号: CN201868402U 公开(公告)日: 2011-06-15
发明(设计)人: 姚琪;刘鹏;欧阳辉 申请(专利权)人: 浙江贝盛光伏股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/677
代理公司: 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 代理人: 纪元
地址: 313008 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种载具,尤其涉及一种石英舟。

背景技术

扩散是太阳能硅电池片生产过程中关键的一步工序,扩散工艺通常采用扩散炉来完成,石英舟是一种在扩散炉中用来固定硅电池片的夹具,其尺寸规格必须与相应的扩散炉内的安装架相配套,而由于设备制造商技术的不断改进,不同设备制造商技术发展的不均衡性,扩散车间内往往会购入不同型号的扩散炉,尤为可能的是同时安装有国内和国外生产的扩散炉,不同型号的扩散炉导致需要准备多种型号的石英舟,使得生产安排极为麻烦。

最常用的扩散炉设置有如下两种石英舟安装架:1、石英长舟,为两根间距固定、相互平行的石英杆状物,石英舟的舟座从外侧卡于石英长舟上;2、SiC桨,为一U形SiC制成的架子,石英舟的舟座从外侧卡于SiC上。

实用新型内容

本实用新型为解决现有技术问题,提供一种便于使用的石英舟。

本实用新型的技术方案是: 一种石英舟,包括舟体,舟体下方设置有舟架,所述舟体包括横架和纵杆,所述纵杆固定设置于横架壁,且与横架相互垂直;所述横架下方设置有舟座,所述舟座有两个,且之间的距离小于舟架的宽度。

移动舟座的位置,使得舟座恰好能从内侧卡于石英长舟,并能从外侧卡于SiC桨上,生产时只需要使用一种石英舟,即可适用于多种规格的扩散炉;且本实用新型不改变石英舟的材质等其他特性,方块电阻对比及效率均优于原石英舟。

作为优选,所述纵杆设置于横架的内侧壁。

作为优选,所述纵杆设置于横架的外侧壁。

作为优选,所述纵杆上开有凹槽。

作为优选,所述凹槽有多个,相邻凹槽之间的距离为3~6MM。

作为优选,所述凹槽的深度方向与纵杆的中心轴线之间的角度为1~6度。

作为优选,所述纵杆长度小于1080MM。

作为优选,所述两个舟座之间的距离为100~120MM。

综上所述,本实用新型具有以下优点:

1、可适用多种不同扩散炉内的石英舟架,便于生产;

2、方块电阻对比和效率较高。

附图说明

图1为本实用新型实施例一结构侧视图;

图2为本实用新型实施例一结构俯视图;

图3为本实用新型安装于石英长舟示意图;

图4为本实用新型安装于SiC桨示意图。

图中,1、横架,2、纵杆,3、舟座,4、石英长舟,5、SiC桨,6、凹槽。

具体实施方式

下面结合附图以实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例一:

一种石英舟,如图1、2所示,包括舟体,舟体下方设置有舟架,舟体包括横架1和纵杆2,纵杆2固定设置于横架1内侧壁,且与横架1相互垂直;横架1下方设置有舟座3,舟座3有两个,纵杆2上开有多个凹槽6,相邻凹槽6之间的距离为3MM,凹槽6与纵杆2之间的角度为1度,纵杆2长度为1070MM,两个舟座3之间的距离为100MM,石英舟整体宽度185MM。

如图3所示,石英舟放置于石英长舟4上。

如图4所示,石英舟放置于SiC桨5上。

实施例二:

一种石英舟,如图1、2所示,包括舟体,舟体下方设置有舟架,舟体包括横架1和纵杆2,纵杆2固定设置于横架1外侧壁,且与横架1相互垂直;横架1下方设置有舟座3,舟座3有两个,纵杆2上开有多个凹槽6,相邻凹槽6之间的距离为6MM,凹槽6与纵杆2之间的角度为6度,纵杆2长度为1000MM,两个舟座3之间的距离为120MM,石英舟整体宽度185MM。

实施例三:

一种石英舟,如图1、2所示,包括舟体,舟体下方设置有舟架,舟体包括横架1和纵杆2,纵杆2固定设置于横架1外侧壁,且与横架1相互垂直;横架1下方设置有舟座3,舟座3有两个,纵杆2上开有多个凹槽6,相邻凹槽6之间的距离为4.8MM,凹槽6与纵杆2之间的角度为3度,纵杆2长度为1000MM,两个舟座3之间的距离为110MM,石英舟整体宽度185MM。

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