[实用新型]一种太阳能晶体硅电池激光划片设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光加工技术领域，具体提供一种适用于单晶硅及多晶硅太阳能晶体硅电池激光划片设备。

背景技术

现有的太阳能电池片小组件生产，用来分离太阳能晶体硅电池片的设备已从原来的机械砂轮切割设备，全面升级换代到使用激光设备来进行刻划分离。目前的激光加工设备均采用单激光头输出，经聚焦镜聚焦到工件平台，工件平台装载电池片进行二维运动的方式来实现加工目的。如果希望提高生产效率，一般通过提高工件平台的运动速度，但提高工件平台的运动速度对运动系统的品质要求也相应提高，同时对激光刻划的精度也会有很大的影响。

实用新型内容

为解决因提高工件平台运动速度带来的不利影响，本实用新型提供一种双头或多头分光输出的太阳能晶体硅电池激光划片设备，在不改变工件平台的运动速度的条件下，可双倍或多倍提高生产效率。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种太阳能晶体硅电池激光划片设备，包括设备控制主机、激光发生器、外光路系统、聚焦镜头和工件运动平台，设备控制主机控制激光发生器产生激光束，该激光束经外光路系统反射至聚焦镜头，聚焦镜头物镜头对着工件运动平台的表面，设备控制主机控制工件运动平台作二维运动，外光路系统内设有将单束激光均匀分为两束或多束激光的光学分光装置，对应于这两束或者多束激光，在外光路系统下方设置有至少两个聚焦镜头。

进一步的，光学分光装置包括激光扩束镜、第一光束调整波片镜、第一激光分光镜、第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，外光路系统下方设置有第一聚焦镜头和第二聚焦镜头；

所述第一光束调整波片镜、第一激光分光镜和第三反射镜依次设置在上层搁板上，所述第一光束调整波片镜接收经所述激光扩束镜输出的激光束；所述第一光束调整波片镜垂直放置在所述上层搁板上，所述第一激光分光镜与所述第三反射镜平行设置，且与所述上层隔板呈45°角；

所述第一反射镜和所述第二反射镜平行设置在下层搁板上，且与所述下层搁板呈45°角，所述第一反射镜接收所述第一激光分光镜分出的激光束；

在所述下层搁板下方设置有与所述第二反射镜对应的第一聚焦镜头、与所述第三反射镜对应的第二聚焦镜头。

进一步的，第一激光分光镜的透过率为50%，反射率为50%。

进一步的，所述光学分光装置包括激光扩束镜、第一光束调整波片镜、第二光束调整波片镜、第一激光分光镜、第二激光分光镜 、第一反射镜 、第二反射镜 、第三反射镜、第四反射镜和第五反射镜，外光路系统下方设置有第一聚焦镜头、第二聚焦镜头和第三聚焦镜头；

所述第一光束调整波片镜、第一激光分光镜、第二光束调整波片镜、第二激光分光镜和第三反射镜依次设置在上层搁板上，所述第一光束调整波片镜接收经所述激光扩束镜输出的激光束；所述第一光束调整波片镜、所述第二光束调整波片镜垂直放置在所述上层搁板上，所述第一激光分光镜、所述第二激光分光镜和所述第三反射镜相互平行设置，且与所述上层隔板呈45°角；

所述第二反射镜、所述第一反射镜、所述第五反射镜和所述第四反射镜相互平行、依次地设置在下层搁板上，且与所述下层搁板呈45°角，所述第一反射镜接收所述第一激光分光镜分出的激光束，所述第四反射镜接收所述第二激光分光镜分出的激光束；

在所述下层搁板下方设置有与所述第二反射镜对应的第一聚焦镜头、与所述第三反射镜对应的第二聚焦镜头、以及与所述第五反射镜对应的第三聚焦镜头。

进一步的，第一激光分光镜的透过率为66.7%，反射率为33.3%，第二激光分光镜的透过率为50%，反射率为50%。

本实用新型的有益效果是：本实用新型太阳能晶体硅电池激光划片设备在不改变原有的工件平台的运动速度前提下，在激光输出端，利用光学镜片对单束激光进行分光，并对每一束激光进行单独调节达到能量均匀，经分别反射聚焦后即可实施加工，激光输出头采用双头或多头输出，在同一个工件装载运动平台上同时加工多个工件，可极大的提高单位时间内的设备生产产量。

附图说明

图1为本实用新型太阳能晶体硅电池激光划片设备的结构示意图；

图2为双头太阳能晶体硅电池激光划片设备光学分光装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例1中太阳能晶体硅电池激光划片设备工作状态的示意图；

图4为多头太阳能晶体硅电池激光划片设备光学分光装置的结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：