[实用新型]一种太阳能晶体硅电池激光划片设备有效
申请号: | 201020597853.5 | 申请日: | 2010-11-09 |
公开(公告)号: | CN201997852U | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
发明(设计)人: | 罗新红;周慧;胡荣 | 申请(专利权)人: | 武汉高盛光电科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/36 | 分类号: | B23K26/36;B23K26/067 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 430223 湖北省武汉市东湖开*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能 晶体 电池 激光 划片 设备 | ||
1.一种太阳能晶体硅电池激光划片设备,包括设备控制主机、激光发生器、外光路系统、聚焦镜头和工件运动平台,所述设备控制主机控制激光发生器产生激光束,该激光束经外光路系统反射至聚焦镜头,经聚焦镜头聚焦后射到工件运动平台的表面,所述设备控制主机控制工件运动平台作二维运动,其特征在于:所述外光路系统内设有将单束激光均匀分为两束或多束激光的光学分光装置,对应于这两束或者多束激光,在外光路系统下方设置有至少两个聚焦镜头。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能晶体硅电池激光划片设备,其特征在于:所述光学分光装置包括激光扩束镜、第一光束调整波片镜、第一激光分光镜、 第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜,所述外光路系统下方设置有第一聚焦镜头和第二聚焦镜头。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能晶体硅电池激光划片设备,其特征在于:所述第一激光分光镜的透过率为50%,反射率为50%。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能晶体硅电池激光划片设备,其特征在于:所述光学分光装置包括激光扩束镜、第一光束调整波片镜、第二光束调整波片镜、第一激光分光镜、第二激光分光镜 、第一反射镜 、第二反射镜 、第三反射镜、第四反射镜和第五反射镜,所述外光路系统下方设置有第一聚焦镜头、第二聚焦镜头和第三聚焦镜头。
5.根据权利要求4所述的一种太阳能晶体硅电池激光划片设备,其特征在于:所述第一激光分光镜的透过率为66.7%,反射率为33.3%,所述第二激光分光镜的透过率为50%,反射率为50%。
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