[实用新型]气体传输装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及输送物质的装置，尤其涉及一种气体传输装置。

背景技术

图1所示为化学机械平坦化设备中的气体传输装置，该气体传输装置可用于抽真空，使得研磨头(head)能紧紧吸住晶圆，该气体传输装置也可用于传输压缩气体，使得研磨头能将晶圆压紧在研磨垫上。参见图1，该气体传输装置包括一顶盖110、多节传输管道120、一固定基座130、一转轴140和一接口法兰150；所述多节传输管道120依次叠置，所述顶盖110设置在依次叠置的多节传输管道120的顶端，依次叠置的多节传输管道120的底端设置在所述固定基座130上，所述转轴140的顶端依次穿过所述多节传输管道120与所述顶盖110连接，该转轴140底端从依次叠置的多节传输管道120的底端延伸出所述传输管道120外，所述接口法兰150设置在所述转轴140的底端；每节所述传输管道120的侧壁上设有一通气孔121。

参见图2，所述转轴140内设有多根通气管141，所述通气管141的一端与所述接口法兰150相通，所述通气管141的另一端设有开口142，一个开口142与一个通气孔121相对应，所述开口142与其所对应的通气孔121处于同一水平位置；

所述传输管道120包括外壳模块122和内模块123，所述内模块123固定设置在所述转轴140的外侧壁上，多节所述传输管道120的外壳模块122依次叠置形成一空腔，所述内模块123用于将该空腔隔离成一个一个小的气体腔室，理想状态是各个气体腔室之间有良好的密封性，为了防止气体通过所述内模块123与所述转轴140的外侧壁之间的缝隙泄漏，在所述内模块123与所述转轴140的外侧壁之间设有密封环(O-ring)124，所述密封环124采用橡胶材料制成。

现有技术的气体传输装置的缺点是，所述转轴140转动时，所述密封环124与所述转轴140之间有摩擦力，长时间使用后，橡胶材料制成的密封环124会损坏，从而破坏各个气体腔室之间的密封性，产生漏气现象；并且，由于所述密封环124通常是定制的，更换新的密封环不仅花费的时间长，而且成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气体传输装置，密封效果好，且耐用。

为了达到上述的目的，本实用新型提供一种气体传输装置，用于在转动中进行多通道气体输送，包括依次叠置的多节传输管道和一部分设置在所述传输管道内的转轴，每节所述传输管道包括外壳和设置所述外壳内的隔离机构，所述隔离机构包括一内壳、磁流体、第一阻挡垫圈、第二阻挡垫圈、第一卡环、第二卡环和至少一密封圈；所述内壳的外侧壁与所述外壳的内侧壁连接；所述第一阻挡垫圈和第一卡环依次设置在所述内壳的顶端上；所述第二阻挡垫圈和第二卡环依次设置在所述内壳的底端下；所述磁流体位于所述内壳的内侧壁与所述转轴的外侧壁以及所述第一阻挡垫圈与第二阻挡垫圈之间；所述密封圈设置在所述内壳的外侧壁与所述外壳的内侧壁之间。

上述气体传输装置，其中，所述隔离机构还包括弹性垫圈，所述弹性垫圈设置在所述第一卡环与所述第一阻挡垫圈之间。

上述气体传输装置，其中，所述隔离机构还包括第一轴承和第二轴承；所述第一轴承设置在所述第一卡环与所述第一阻挡垫圈之间；所述第二轴承设置在所述第二卡环与第二阻挡垫圈之间。

上述气体传输装置，其中，所述隔离机构还包括第一轴承和第二轴承；所述第一轴承设置在所述弹性垫圈与所述第一阻挡垫圈之间；所述第二轴承设置在所述第二卡环与第二阻挡垫圈之间。

上述气体传输装置，其中，所述内壳为磁性内壳。

上述气体传输装置，其中，所述第一阻挡垫圈和第二阻挡垫圈均采用塑料制成。

上述气体传输装置，其中，所述内壳的外侧壁与所述外壳的内侧壁之间设有两个密封圈。

本实用新型的气体传输装置采用磁流体作密封材料，转轴转动时会吸引磁流体，使磁流体紧紧吸附在转轴上，密封效果好，且磁流体不会因为摩擦力而受到磨损，进而损坏产生漏气现象，因此，采用磁流体作密封材料密封效果好，使用寿命长；

本实用新型的气体传输装置设有多个轴承，大大减小了转轴转动时受到的阻力，降低了转轴的损耗，使气体传输装置工作性能稳定可靠；

本实用新型的气体传输装置结构简单、装卸方便。

附图说明

本实用新型的气体传输装置由以下的实施例及附图给出。

图1是现有技术的气体传输装置的结构示意图。

图2是现有技术中一节传输管道的剖视图。

图3是本实用新型的气体传输装置的结构示意图。