[实用新型]气体传输装置有效
| 申请号： | 201020564818.3 | 申请日： | 2010-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN201841468U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 张芳余 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B41/06;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 传输 装置 | ||
1.一种气体传输装置，用于在转动中进行多通道气体输送，包括依次叠置的多节传输管道和一部分设置在所述传输管道内的转轴，每节所述传输管道包括外壳和设置所述外壳内的隔离机构，其特征在于，所述隔离机构包括一内壳、磁流体、第一阻挡垫圈、第二阻挡垫圈、第一卡环、第二卡环和至少一密封圈；
所述内壳的外侧壁与所述外壳的内侧壁连接；
所述第一阻挡垫圈和第一卡环依次设置在所述内壳的顶端上；
所述第二阻挡垫圈和第二卡环依次设置在所述内壳的底端下；
所述磁流体位于所述内壳的内侧壁与所述转轴的外侧壁以及所述第一阻挡垫圈与第二阻挡垫圈之间；
所述密封圈设置在所述内壳的外侧壁与所述外壳的内侧壁之间。
2.如权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，所述隔离机构还包括弹性垫圈，所述弹性垫圈设置在所述第一卡环与所述第一阻挡垫圈之间。
3.如权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，所述隔离机构还包括第一轴承和第二轴承；所述第一轴承设置在所述第一卡环与所述第一阻挡垫圈之间；所述第二轴承设置在所述第二卡环与第二阻挡垫圈之间。
4.如权利要求2所述的气体传输装置，其特征在于，所述隔离机构还包括第一轴承和第二轴承；所述第一轴承设置在所述弹性垫圈与所述第一阻挡垫圈之间；所述第二轴承设置在所述第二卡环与第二阻挡垫圈之间。
5.如权利要求1至4中任一权利要求所述的气体传输装置，其特征在于，所述内壳为磁性内壳。
6.如权利要求1至4中任一权利要求所述的气体传输装置，其特征在于，所述第一阻挡垫圈和第二阻挡垫圈均采用塑料制成。
7.如权利要求1至4中任一权利要求所述的气体传输装置，其特征在于，所述内壳的外侧壁与所述外壳的内侧壁之间设有两个密封圈。
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