[实用新型]一种无基板的输出端扇出型倒装芯片封装结构无效

专利信息
申请号: 201020544931.5 申请日: 2010-09-27
公开(公告)号: CN201829481U 公开(公告)日: 2011-05-11
发明(设计)人: 蔡坚;王谦;浦园园;陈晶益;王水弟 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: H01L23/488 分类号: H01L23/488;H01L23/31
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 朱琨
地址: 100084 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 无基板 输出 端扇出型 倒装 芯片 封装 结构
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及半导体封装领域,尤其是一种无基板的输出端扇出型倒装芯片封装结构。

背景技术

焊球阵列(BGA)或者焊盘阵列(LGA)封装是目前比较新颖的封装方式,其主要的特征是封装后的元件通过基板上的焊球或者焊盘完成组装。倒装芯片互连技术是一种目前先进的互连技术,采用倒装芯片互连的焊球阵列(或者焊盘阵列)封装通常成为FC-BGA(或者FC-LGA)。传统的FC-BGA(或者FC-LGA)采用的输出端扇入型(Fan-in)结构,随着所封装芯片的输出端数越来越多,BGA(或者LGA)封装的输出端的节距越来越小,带来了元件组装的困难,同时由于焊球的尺寸缩小也带来了后序的可靠性问题;传统的FC-BGA(或者FC-LGA)封装都是采用双马来酰亚胺三嗪树脂(BT Resin)基板来实现再布线和内外部的互连,然而基板占封装成本的很大一部分。

实用新型内容

本实用新型在于提供了一种无基板的输出端扇出型(Fan-out)倒装芯片的芯片尺寸封装结构,采用Cu板(箔)代替传统通用的双马来酰亚胺三嗪树脂(BTResin)基板来实现再布线和内外部的互连。

为了达到上述目的,本实用新型的技术方案是:

本实用新型的无基板的输出端扇出型倒装芯片封装结构,包括倒装芯片(1)、倒装芯片凸点(2)、模塑料(3)和底部填充料(4),其特征在于,还包括Cu焊盘(5),所述Cu焊盘(5)的上表面与对应的倒装芯片凸点(2)的底面相连,其余Cu焊盘(5)位于扇出端,其上表面与所述模塑料(3)或者底部填充料(4)的底面相连;

本实用新型进一步改进在于所述Cu焊盘(5)的底面植有焊球(6)。

本实用新型进一步改进在于所述Cu焊盘(5)为蚀刻的Cu箔或Cu板。

本实用新型进一步改进在于所述倒装芯片凸点为焊料凸点、Au钉头凸点、Ni凸点、Cu凸点、In凸点以及Ag凸点中的任何一种。

本实用新型更进一步改进在于所述焊球是无铅的。

这种无基板的输出端扇出型倒装芯片焊球阵列(焊盘阵列)封装结构的主要优势在于:采用Cu板(箔)代替传统通用的双马来酰亚胺三嗪树脂(BT Resin)基板来实现再布线和内外部的互连,首先省去了基板层的制造,大大降低了生产成本,生产社会效益显著;其次采用扇出型结构使得焊球(或者焊盘)的尺寸和节距变大,为在下一步的组装提供了便利。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

图1是无基板的输出端扇出型倒装芯片LGA封装结构的截面示意图。

图2是无基板的输出端扇出型倒装芯片BGA封装结构的截面示意图。

其中:

1-倒装芯片;2-倒装芯片凸点;3-模塑料;4-底部填充料;

5-Cu焊盘;6-焊球。

具体实施方式

实施例一:

S101:在Cu板(箔)上表面涂敷感光树脂或者光刻胶;

S102:然后进行光刻,在上表面获得需要和倒装芯片凸点组装的焊盘(Pad);

S103:在S102所获得的焊盘上面根据凸点类型制作相应的金属化层,去除感光树脂或者光刻胶;

S104:将带有倒装凸点的芯片组装到Cu板(箔)上;

S105:进行底部填充料填充(Underfilling)和模塑成型(Molding);

S106:在Cu板(箔)下表面涂敷感光树脂或者光刻胶,根据布线以及下表面的焊盘(Pad)分布进行Cu板(箔)的刻蚀;

S107:在S106获得的布线和Pad上制作相应的金属化层;

S108:去除感光树脂或者光刻胶。

这样就得到了无基板的输出端扇出型倒装芯片LGA封装结构。

实施例二:

S201:在Cu板(箔)上表面涂敷感光树脂或者光刻胶;

S202:然后进行光刻,在上表面获得需要和倒装芯片凸点组装的焊盘(Pad);

S203:在S202获得的焊盘上面根据凸点类型制作相应的金属化层,去除感光树脂或者光刻胶;

S204:将带有倒装凸点的芯片组装到Cu板(箔)上;

S205:进行底部填充料填充(Underfilling)和模塑成型(Molding);

S206:在Cu板(箔)下表面涂敷感光树脂或者光刻胶,根据布线以及下表面的焊盘(Pad)分布进行Cu板(箔)的刻蚀;

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