[实用新型]搬运车有效
| 申请号： | 201020536377.6 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN201829470U | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 董云 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 搬运车 | ||
1.一种搬运车，包括车本体，其特征在于，所述车本体上连接有灰尘检测设备。
2.根据权利要求1所述的搬运车，其特征在于，所述灰尘检测设备包括摄像头，以及用于对由所述摄像头摄得的图像进行分析以检测灰尘状况的图像分析器。
3.根据权利要求2所述的搬运车，其特征在于，所述摄像头的焦距为4至6厘米。
4.根据权利要求2所述的搬运车，其特征在于，所述摄像头的放大倍率在50倍至100倍之间。
5.根据权利要求2所述的搬运车，其特征在于，所述摄像头为自动焦距补偿摄像头。
6.根据权利要求2所述的搬运车，其特征在于，所述摄像头连接在所述搬运车的前端。
7.根据权利要求2所述的搬运车，其特征在于，所述灰尘检测设备还包括：
用于存储由所述摄像头摄得的图像的图像存储器。
8.根据权利要求1所述的搬运车，其特征在于，所述灰尘检测设备包括激光灰尘检测设备和/或光电灰尘检测设备。
9.根据权利要求1至8中任意一项所述的搬运车，其特征在于，还包括下列两部件中的至少一个：
用于确定时间信息的时间记录器；
用于确定所述搬运车的位置信息的位置记录器。
10.根据权利要求1至8中任意一项所述的搬运车，其特征在于，还包括下列两部件中的至少一个：
用于储存所述灰尘检测设备的检测结果的结果存储器；
用于发送所述灰尘检测设备的检测结果的结果发送器。
11.根据权利要求1至8中所述的搬运车，其特征在于，所述搬运车为自动化搬运车。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
