[实用新型]样品定位装置有效
| 申请号： | 201020506220.9 | 申请日： | 2010-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN201796016U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 王娜;丁佳妮;李刚;何俊明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/26 | 分类号： | G01N29/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 样品 定位 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种样品定位装置，用于将样品固定在机台底座上，其特征在于，包括托盘和多个限位部件；
所述托盘设置在所述机台底座上；
所述多个限位部件设置在所述托盘上，用于将所述样品限位于所述托盘上。
2.如权利要求1所述的样品定位装置，其特征在于，所述托盘承载所述限位部件的表面为磨砂面。
3.如权利要求1所述的样品定位装置，其特征在于，所述托盘及限位部件的表面均涂覆有抗锈层。
4.如权利要求1、2或3所述的样品定位装置，其特征在于，所述托盘吸附在所述机台底座上。
5.如权利要求4所述的样品定位装置，其特征在于，所述多个限位部件吸附在所述托盘上。
6.如权利要求5所述的样品定位装置，其特征在于，所述多个限位部件围成一圈包在样品外围，限定所述样品的位置。
7.如权利要求4所述的样品定位装置，其特征在于，所述多个限位部件卡在所述托盘上，该限位部件能在所述托盘上滑动。
8.如权利要求7所述的样品定位装置，其特征在于，所述托盘两个相对的侧面上各设有一卡槽，所述限位部件的两端分别卡在所述两条卡槽内，所述限位部件沿所述卡槽滑动。
9.如权利要求7所述的样品定位装置，其特征在于，所述多个限位部件相互平行。
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