[实用新型]石英坩埚清洗烘干专用一体机无效

专利信息
申请号: 201020505583.0 申请日: 2010-08-25
公开(公告)号: CN201799442U 公开(公告)日: 2011-04-20
发明(设计)人: 池金林;杨业林 申请(专利权)人: 扬州华尔光电子材料有限公司
主分类号: B08B9/093 分类号: B08B9/093;F26B7/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 徐激波
地址: 225600*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 石英 坩埚 清洗 烘干 专用 一体机
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏领域,具体涉及一种石英坩埚清洗烘干专用设备。

背景技术

石英坩埚是太阳能铸锭多晶生产的重要器件之一,其品质好坏将直接影响铸锭多晶炉的产能和收率,同时对铸锭多晶硅产品位错的形成及终端产品太阳能电池的转换效率等电性能有着重要影响,石英坩埚的清洗也是非常重要的。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种石英坩埚清洗烘干专用一体机。

本实用新型采用的技术方案是:一种石英坩埚清洗烘干专用一体机,包括转盘、活动门、内喷头、外喷头、储酸槽、排酸管、进酸管、排水管、进水管和烘干设备,所述一体机上安装有活动门,一体机内设置有转盘,转盘的中心位置安装有内喷头,所述外喷头通过支架安装在转盘的上方,所述内喷头和外喷头通过排酸管和进酸管与储酸槽相通,内喷头和外喷头通过排水管和进水管与储水设备相通,所述一体机内还设置有烘干设备。

石英坩埚清洗工艺流程是:将石英坩埚放入清洗机立式活动台;检查水、电、气路及供应是否正常;关闭活动门,启动按钮→进入酸洗程序→进入DIW洗程序→热风吹干→合格报警;人工用小车将石英坩埚取出包装。

本实用新型石英坩埚清洗机主体由清洗箱体,漏盘,上下喷淋系统,活动托盘,储酸系统,石英器皿、清洗槽、热风烘干系统、管路部分、PLC触摸屏电控部分,该设备主体上下分三部分,右侧电器控制系统、顶部抽风系统、中层工作区、下层为管道安装维修区、储酸箱、DIW增压泵、酸液循环泵等。

有益效果:本实用新型石英坩埚清洗烘干一体机操作方便、结构简单,清洗效率高、烘干效果好。

附图说明

附图为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明:

如附图所示:一种石英坩埚清洗烘干专用一体机,包括转盘1、活动门2、内喷头3、外喷头4、储酸槽5、排酸管6、进酸管7、排水管8、进水管9和烘干设备,所述一体机上安装有活动门2,一体机内设置有转盘1,转盘1的中心位置安装有内喷头3,所述外喷头4通过支架安装在转盘1的上方,所述内喷头3和外喷头4通过排酸管6和进酸管7与储酸槽5相通,内喷头3和外喷头4通过排水管8和进水管9与储水设备相通,所述一体机内还设置有烘干设备。

工作时将石英坩埚10用人工放置清洗机可转动的转盘1上,关闭活动门2,检查水、电、气,转动转盘1,打开喷酸系统,用内喷头3和外喷头4对石英坩埚10内外进行喷酸。酸从储酸槽5中由进酸管7进,再由排酸管6进储酸槽5进行回收循环利用,到设定的时间后停止喷酸,关闭排酸阀。再打开高纯水增压泵,用内喷头3和外喷头4对石英坩埚10进行高压喷洗,当废液流出的水质达到设定标准关闭喷淋系统。然后先给坩埚吹过滤后的自然风吹干坩埚内外表面积水再打开加热系统给坩埚吹热风进行烘干,到一定时间关闭热风系统,打开封闭门给坩埚进行自然冷却后进行包装。

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