[实用新型]石英坩埚清洗烘干专用一体机无效
| 申请号: | 201020505583.0 | 申请日: | 2010-08-25 |
| 公开(公告)号: | CN201799442U | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
| 发明(设计)人: | 池金林;杨业林 | 申请(专利权)人: | 扬州华尔光电子材料有限公司 |
| 主分类号: | B08B9/093 | 分类号: | B08B9/093;F26B7/00 |
| 代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 徐激波 |
| 地址: | 225600*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 石英 坩埚 清洗 烘干 专用 一体机 | ||
1.一种石英坩埚清洗烘干专用一体机,其特征在于:包括转盘(1)、活动门(2)、内喷头(3)、外喷头(4)、储酸槽(5)、排酸管(6)、进酸管(7)、排水管(8)、进水管(9)和烘干设备,所述一体机上安装有活动门(2),一体机内设置有转盘(1),转盘(1)的中心位置安装有内喷头(3),所述外喷头(4)通过支架安装在转盘(1)的上方,所述内喷头(3)和外喷头(4)通过排酸管(6)和进酸管(7)与储酸槽(5)相通,内喷头(3)和外喷头(4)通过排水管(8)和进水管(9)与储水设备相通,所述一体机内还设置有烘干设备。
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