[实用新型]用于装卸法拉第系统的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体工艺设备，尤其涉及一种用于装卸法拉第系统的装置。

背景技术

当前的半导体器件的特点在于增加集成度、减小总体尺寸和提高性能。这些结果通过用来制造半导体器件的制造工序的复杂顺序中小心改进来实现。这些制造工序的一种工序通常涉及将导电杂质离子注入硅晶片中。

离子注入是基础制造工序，通过其将杂质有选择地引入半导体衬底中。离子注入工序常常与热扩散工序结合执行。尽管在半导体器件的制造中它已将使用很长时间，但是与当前半导体器件相关的小尺寸和越来越精确的制造公差更强调离子注入工序的精确控制。此外，从批量生产观点，要求较精确控制注入杂质浓度，以提高半导体器件的可重复性。

有各种离子注入设备，其中可以执行精确离子注入工序。一种常规离子注入设备包括，用于产生导电杂质离子的离子源，用于杂质离子的分开和提取的质谱分析仪(Mass Analyzer)，用于聚集分开/提取的杂质离子的磁极电极，以及用于输出限定束的离子束的扫描系统，该离子束包括聚集的杂质离子。所述常规离子注入设备还包括用于加速被扫描系统输出的离子束的加速器、用于保持固定晶片和在至少一维移动晶片的靶以及临近于所述靶布置并用于决定离子束的浓度的法拉第系统。

为延长离子注入设备的寿命，技术人员需要经常对离子注入设备进行保养，在保养过程中，重新组装和清洗法拉第系统是一个重要的环节，法拉第系统包括气缸、传动装置、外部铁皮以及于阻挡离子的石墨，在拆卸和安装过程中，法拉第系统在离子注入设备中的位置距离地面有一定的高度，同时法拉第系统还与水管和气管相连接，故需要先将法拉第系统横向端出离子注入机台口后，再放置在地面上，这给操作人员操作造成很大困难，容易发生下述问题：(1)由于法拉第系统的特殊组成，法拉第系统的重量可达45公斤以上，同时在粒子注入设备中空间狭小，所以在每一次进行拆卸和安装的过程中，只能是一至两名操作人员进行操作，由于没有任何辅助设备，操作人员在安装过程中会受伤；(2)法拉第系统中石墨比较脆弱，容易损坏，在安装和拆卸过程易发生石墨撞击到离子注入机台腔体中导致破碎的问题。(3)在法拉第系统安装时，如果位置不够对准，会因密封性不良而造成事故。现有技术中，安装后要检查法拉第系统是否安装正确，检查过程在高真空状态下进行，如果安装过程中出现偏差，又需要重新进行安装和检查，耗时耗力。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，提供一种方便法拉第系统的拆卸和安装的装置，保护操作人员的人身安全，保护法拉第系统在拆卸和安装过程中不被损坏，提高工作效率。

为解决上述问题，本实用新型提供一种用于装卸法拉第系统的装置，包括：丝杠螺母机构，所述丝杠螺母机构包括传动丝杠和套设在所述传动丝杠上的传动螺母；滑杆，所述滑杆与所述传动丝杠延伸方向相同；底板，所述底板套设在所述滑杆上，所述传动螺母设置在所述底板上；托盘，所述托盘固设在所述底板上；电机，所述电机通过一对相互啮合的齿轮与所述传动丝杠连接。

进一步的，所述底板的一端设置所述传动螺母，所述底板的另一端套设在所述滑杆上，所述底板与所述传动螺母为一体成型。

进一步的，所述一对相互啮合的齿轮包括主动齿轮和被动齿轮，主动齿轮固定在所述电机的输出轴上，所述被动齿轮固定在所述传动丝杠上。

较佳的，所述托盘与法拉第系统相适配。

较佳的，所述托盘上设置有滚动轴。

较佳的，所述传动丝杠的高度与法拉第系统的位置高度相适配。

较佳的，所述滑杆的高度能够调整。

较佳的，所述滑杆顶部设有吸盘。

综上所述，本实用新型中用于装卸法拉第系统的装置设置有托盘，在丝杠螺母机构的调节下，所述托盘可以准确定位在与法拉第系统相平的高度位置，使操作人员可以平稳地将法拉第系统横向拉至托盘上，减小了操作人员的工作难度，保证了操作人员的安全性；所述装置依靠电机和丝杠螺母机构传动，可以使法拉第系统平稳地上升、下降，减小了法拉第系统在搬动过程中的震动，减小了法拉第系统的损坏几率；将法拉第系统安装在离子注入设备时，对托盘109进行定位，可以准确地将法拉第系统对准离子注入设备的安装口，提高密封性，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型一实施例中用于装卸法拉第系统的装置的结构示意图。

图2为本实用新型一实施例中用于装卸法拉第系统的装置局部结构的示意图。

图3为本实用新型一实施例中所述托盘的结构示意图。

具体实施方式