[实用新型]用于装卸法拉第系统的装置有效
| 申请号： | 201020261303.6 | 申请日： | 2010-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN201770768U | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 许鹖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 装卸 法拉第 系统 装置 | ||
1.一种用于装卸法拉第系统的装置，其特征在于，包括
丝杠螺母机构，所述丝杠螺母机构包括传动丝杠和套设在所述传动丝杠上的传动螺母；
滑杆，所述滑杆与所述传动丝杠延伸方向相同；
底板，所述底板套设在所述滑杆上，所述传动螺母设置在所述底板上；
托盘，所述托盘固设在所述底板上；
电机，所述电机通过一对相互啮合的齿轮与所述传动丝杠连接。
2.如权利要求1所述的用于装卸法拉第系统的装置，其特征在于，所述底板的一端设置所述传动螺母，所述底板的另一端套设在所述滑杆上，所述底板与所述传动螺母为一体成型。
3.如权利要求1所述的用于装卸法拉第系统的装置，其特征在于，所述一对相互啮合的齿轮包括主动齿轮和被动齿轮，主动齿轮固定在所述电机的输出轴上，所述被动齿轮固定在所述传动丝杠上。
4.如权利要求1所述的用于装卸法拉第系统的装置，其特征在于，所述托盘与法拉第系统相适配。
5.如权利要求1所述的用于装卸法拉第系统的装置，其特征在于，所述托盘上设置有滚动轴。
6.如权利要求1所述的用于装卸法拉第系统的装置，其特征在于，所述传动丝杠的高度与法拉第系统的位置高度相适配。
7.如权利要求1所述的用于装卸法拉第系统的装置，其特征在于，所述滑杆的高度能够调整。
8.如权利要求1所述的用于装卸法拉第系统的装置，其特征在于，所述滑杆顶部设有吸盘。
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