[实用新型]一种干式真空微系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空泵领域，特别涉及的是一种以DP干式涡旋真空泵为主机，并配以多种备件来便于使用者使用的DMVS系列干式真空微系统。

背景技术

目前，国内相关真空行业所使用的数机械真空泵大多以用水、油或其他聚合物等流体充当泵的工作介质的为主。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决的问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增了设备维护成本。其次，由于某些工艺过程中被抽气体进入到真空泵内很难回收，并且造成泵内介质变质。

虽然现在市面上所出现的新型DP干式涡旋真空泵以其结构紧凑简单、抽气腔原件无摩擦、寿命长、耗能低、无油污染等优点，得到越来越多使用厂家的青睐。并由于其在化工行业上有不可比拟的优势，逐渐代替了传统的机械真空泵。但由于在使用时，用户往往会因为其较为复杂的操作性，而不能实现高效的生产；且在使用时也很难进行化工气体等物质的回收，从而加大了企业的环保压力，也降低了整个真空泵使用的价值。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对现有技术的不足而提供一种干式真空微系统，以解决现有真空泵所存在的诸多不足之处。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：

一种干式真空微系统，由机座、电机、干式涡旋真空泵、手动阀、真空过滤器以及真空表构成，所述干式涡旋真空泵安装在机座上，所述电机的输出轴与所述干式涡旋真空泵的输入轴连接，所述手动阀一个阀口与所述干式涡旋真空泵的抽气口连接，手动阀的另一个阀口接一三通，所述真空过滤器的出气口接所述三通的一个接口，所述真空表安装在所述三通的另一个接口上。

所述手动阀通过KF真空快卸法兰与所述干式涡旋真空泵的抽气口连接。

本实用新型结构简单、使用方便，用户在使用本实用新型进行生产加工时，只需接上电源和与其相配套的真空管路，就可以一步到位地满足用户对真空的需求，从而极大地方便了那些对真空设备不是很熟悉的用户；同时本系统有防液体、防尘过滤部分，可以大大延长整体设备的使用寿命，也可以间接的增加其使用性能。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型；

图1为本实用新型的结构简图。

图2为本实用新型干式涡旋真空泵的工作原理图。

图3为本实用新型干式涡旋真空泵抽速曲线示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

本实用新型为一种干式真空微系统，其主要用于解决现有干式涡旋真空泵操作不便，且在使用性能方面还存在较大不足的问题，为此在干式涡旋真空泵进行改良与设计。

如图1所示，为本实用新型的结构简图。本实用新型作为一种干式真空微系统，该干式真空微系统包括一机座100、干式涡旋真空泵200、电机300、手动阀400、真空过滤器500、真空表600以及KF真空快卸法兰700。在机座100底部安装有用于缓解工作时产生的过量震动的避震脚110，干式涡旋真空泵200安装在机座100上，在干式涡旋真空泵200上侧安装有一组用于起吊整个干式真空微系统的吊环210，干式涡旋真空泵200具有一个抽气口220、一个排气口230，干式涡旋真空泵200输入轴与电机300的输出轴联接，电机300驱动干式涡旋真空泵200工作。

手动阀400一个阀口通过KF真空快卸法兰700与干式涡旋真空泵200的抽气口220连接，采用KF真空快卸法兰700主要是能快速装卸手动阀400、真空过滤器500、真空表600等部件。

手动阀400的另一个阀口接一三通800，真空过滤器500的出气口510接三通800的一个接口，真空表600安装在三通800的另一个接口上。真空过滤器500的进气口520接负载。在真空过滤器500底部设置用于排放废液的排液口530。

真空过滤器采用申请人申请的，公开号为CN101293160，公开日为2008年10月29日，发明名称为“真空过滤器”。

参见图2，本实用新型的干式涡旋真空泵200是两条渐开线螺旋曲线盘构成，即一个静涡旋盘210和一个动涡旋盘220。动涡旋盘220作偏心安装，静涡旋盘210与动涡旋盘220便形成月芽形腔体230。随着动涡旋盘220转动，月芽形腔体不断向里旋转压缩，最后从中间排出至出气口240。动涡旋盘220连续运转，气体不断从进气口250进入，由出气口240排出，形成真空。